[发明专利]一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜

权利要求书

1.一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，包括平面反射镜组件(1)、柔性支撑组件(2)、传感器组件(3)、作动器(4)、反作用板(5)和基座(6)；

所述柔性支撑组件(2)包括上柔性支撑(21)和下柔性支撑(22)，所述平面反射镜组件(1)通过所述上柔性支撑(21)与所述基座(6)连接；所述反作用板(5)通过所述下柔性支撑(22)与所述基座(6)的另一侧连接；

所述传感器组件(3)和所述作动器(4)均为四个，且所述传感器组件(3)和所述作动器(4)交错均匀分布在所述平面反射镜组件(1)上，

所述传感器组件(3)一端连接所述平面反射镜组件(1)，另一端连接所述基座(6)，

所述作动器(4)一端连接所述平面反射镜组件(1)，另一端连接所述反作用板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述上柔性支撑(21)的中心轴线与所述下柔性支撑(22)的中心轴线重合。

3.根据权利要求2所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述上柔性支撑(21)和下柔性支撑(22)分别具有两个端面，其中一个端面相对于另一个端面具有两轴旋转的自由度。

4.根据权利要求1所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述柔性支撑组件(2)为基于十字柔性轴承的柔性组件。

5.根据权利要求1所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述平面反射镜组件(1)包括平面反射镜(11)、反射镜背板(12)，所述平面反射镜(11)通过粘结的方式安装在所述反射镜背板(12)上，所述平面反射镜(11)的中心轴线与快速反射镜的Z轴重合。

6.根据权利要求5所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述反射镜背板(12)的底部设置有四个中心对称分布的凸台(13)，所述凸台(13)用于连接所述作动器(4)。

7.根据权利要求6所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述作动器(4)包括线圈(41)和磁座(42)，四个所述线圈(41)呈十字安装在所述反射镜背板(12)的凸台(13)上，四个所述磁座(42)呈十字安装在所述反作用板(5)上。

8.根据权利要求1所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述传感器组件(3)包括高精度位置传感器(31)、传感器安装底座(32)，所述高精度位置传感器(31)安装在所述基座(6)上，所述传感器安装底座(32)为柔性板，所述传感器安装底座(32)的一端通过固定螺钉紧固，另一端通过调整螺钉(33)调整所述传感器安装底座(32)的Z向位置。

9.根据权利要求8所述的一种基于柔性支撑的无反作用力快速反射镜，其特征在于，所述高精度位置传感器(31)采用电容或电感式非接触式测量传感器。