[发明专利]紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法

权利要求书

1.一种紫外固化装置，包括：

主体，被安装成沿着待处理对象的上部部分移动；

紫外灯，安装在所述主体的下部部分上；

壁部，连接到所述主体的下部部分，以在所述待处理对象与所述主体之间形成处理空间；

气体供应部，具有安装在所述壁部上的部分，以向所述处理空间供应惰性气体；以及

控制单元，被配置成控制所述气体供应部的操作。

2.根据权利要求1所述的紫外固化装置，其中所述壁部具有中空形状，所述中空形状具有敞开的上部部分及下部部分。

3.根据权利要求2所述的紫外固化装置，其中所述壁部包括在垂直方向上延伸的本体部及设置在所述本体部下方且朝向所述主体的内部弯曲的延伸部。

4.根据权利要求2所述的紫外固化装置，其中所述壁部朝向所述主体的内部及外部的至少一个侧倾斜。

5.根据权利要求1所述的紫外固化装置，其中所述气体供应部包括：

喷嘴，安装在所述壁部的内表面上，以将所述惰性气体注入到所述处理空间；

气体供应管道，连接到所述喷嘴，以将所述惰性气体供应到所述喷嘴；以及

阀，安装在所述气体供应管道上。

6.根据权利要求5所述的紫外固化装置，其中所述气体供应部还包括辅助喷嘴，所述辅助喷嘴安装在所述壁部的外表面上，以在垂直方向上注入所述气体。

7.根据权利要求5所述的紫外固化装置，还包括浓度计，所述浓度计安装在所述壁部上，以对所述处理空间中的氧气浓度进行测量。

8.根据权利要求7所述的紫外固化装置，其中所述浓度计被设置成低于所述喷嘴。

9.根据权利要求7所述的紫外固化装置，其中所述控制单元使用所述浓度计中测量的结果来控制所述阀的操作。

10.一种衬底处理设备，包括：

衬底支撑单元，被配置成支撑上面施加有光固化材料的衬底；以及

根据权利要求1到9中的任一项所述的紫外固化装置，其中所述紫外固化装置安装在所述衬底支撑单元上方。

11.根据权利要求10所述的衬底处理设备，还包括温度计，所述温度计安装在壁部上，以对所述衬底的温度进行测量。

12.根据权利要求11所述的衬底处理设备，其中所述衬底支撑单元包括：

衬底支撑件，被配置成支撑设置在所述衬底支撑件上的所述衬底；以及

冷却装置，被配置成对所述衬底支撑件的温度进行调节，

其中控制单元使用所述温度计中测量的结果来控制所述冷却装置的操作。

13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中所述壁部与所述衬底支撑件间隔开。

14.一种衬底处理方法，包括：

制备涂布有光固化材料的衬底；

将所述衬底安置在衬底支撑件上；

在所述衬底上方使用所述衬底的局部区域形成用于所述衬底的处理空间；

在所述处理空间中形成惰性气体气氛；以及

在其中形成有所述惰性气体气氛的所述处理空间中辐照紫外光。

15.根据权利要求14所述的衬底处理方法，其中辐照所述紫外光包括移动其中形成有所述惰性气体气氛的所述处理空间。

16.根据权利要求15所述的衬底处理方法，其中形成所述惰性气体气氛及辐照所述紫外光中的至少一者包括对所述处理空间中的氧气浓度进行测量。