[发明专利]一种CdIn靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210245202.7 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114686826A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C20/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cdin 及其 制备 方法 | ||
1.一种CdIn靶材，其特征在于，包括如下重量份数的组分：Cd 90-99.9份和In 0.1-10份，所述CdIn靶材的致密度大于99％。
2.如权利要求1所述的CdIn靶材，其特征在于，包括如下重量份数的组分：Cd 96份和In4份。
3.如权利要求1或2所述的CdIn靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将Cd锭与In锭按比例混合，在380-430℃下熔融得到熔融合金物料；
(2)将所述熔融合金物料搅拌至均匀状态后，浇注至经预热处理后的模具腔体中；
(3)浇注结束后保温；
(4)对所述模具腔体进行冷却至熔融合金物料完全凝固，脱模得到所述CdIn靶材。
4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的搅拌方式为顺时针、逆时针循环搅拌，循环次数为2-3次，每次搅拌时间为10-20min。
5.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的模具腔体的制备方法包括如下步骤：将待浇注的空白靶材作为模具组件的内衬背管，在所述空白靶材的表面涂布In，将所述内衬背管与安装在所述内衬背管上下端的背管延长件链接，并将所述背管延长件与背管外模通过底座链接，得到所述模具腔体。
6.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的模具腔体的预热温度为160-190℃。
7.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中的保温温度为300-450℃，保温时间为10-30min。
8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中的保温温度为400℃。
9.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中的冷却速率为20-50℃/min。
10.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的Cd锭和In锭的纯度≥4N。
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