[发明专利]一种光刻机用混合光源发生装置

说明书

本发明公开一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个；安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接；本发明的旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。

技术领域

本发明属于光刻机技术领域，具体为一种光刻机用混合光源发生装置。

背景技术

光刻机是半导体产业中最关键的设备，它决定着芯片的性能、大小等最核心的地方。

中国专利CN205210510U公开了一种光刻机光源技术方案为，包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。

现有技术中，光刻机一般选用半导体激光器作为曝光光源，而激光存在衰减的问题，以及现有的激光源等结构都是采用固定方式进行安装的，所以在适用于不同工艺生产时，需要将此进行拆卸，而来满足其生产，所以目前的光源存在适用性比较低的问题。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述背景技术的问题，而提出一种光刻机用混合光源发生装置，其旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；

安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；

活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个。

作为本发明进一步的方案：安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接。

作为本发明进一步的方案：安装轴的侧壁上设置有与限位活动块相适配的滑槽。

作为本发明进一步的方案：活动轴的顶部设置有旋转机构，旋转机构的固定箱安装在安装轴的顶端上，且固定箱的顶部设置有驱动电机，驱动电机的输出端与主转轴连接，主转轴上套设有主齿轮，主转轴的四周环形阵列设置有多个副转轴，副转轴上套设有副齿轮，主齿轮与副齿轮啮合连接；副转轴的底端通过伸缩联轴器与活动轴的顶端连接。

作为本发明进一步的方案：伸缩联轴器包括活动转轴和活动套管，活动转轴的一端与副转轴的底端活动连接，活动转轴的另一端延伸至活动套管的内腔，并与活动套管滑动连接，活动套管远离活动转轴的一端与活动轴活动连接。

作为本发明进一步的方案：LED光源安装架包括基架，基架套设在活动轴上，并间隔设置有两个，基架上环形阵列设置有多个LED光源安装杆，LED光源安装杆上安装有LED光源。

作为本发明进一步的方案：基架由多个连接杆环形阵列设置而成。

作为本发明进一步的方案：每组连接杆之间安装有一个LED光源。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明以激光源为主光源，可以同时设置有多个LED光源为辅助光源，从而形成结构简单的混合光源装置，当激光源的能量因衰减而达不到预期能量时，LED光源可对其进行补偿；