[发明专利]一种闪光砂光刻文件设计系统及其设计方法

权利要求书

1.一种闪光砂光刻文件设计系统，其特征在于：包括信息读取模块、闪光砂单体制作模块、整图制作模块、界面交互模块；

信息读取模块，用于读取用户提供的闪光砂具体数值信息，并计算所需的概率分布图片的像素尺寸；

闪光砂单体制作模块，用于生成用户选择的不同类型的闪光砂单体的灰度信息，并根据所提供的砂粒大小尺寸范围进行大小高度的随机变化以形成漫反射的效果；

整图制作模块，根据用户提供的概率分布图片的灰度，利用所述闪光砂单体制作模块生成的单个灰度信息，进行伪随机排布，生成最终的整图的灰度二进制文件；

界面交互模块，用于向用户发出错误信息的提醒，以及概率分布图片尺寸的提醒。

2.如权利要求1所述的一种闪光砂光刻文件设计系统，其特征在于：所述闪光砂具体数值信息包括整体尺寸、单个颗粒尺寸、深度信息。

3.如权利要求1所述的一种闪光砂光刻文件设计系统，其特征在于：所述整图制作模块在生成最终的整图的灰度二进制文件后，通过滤波，图像增强，添加噪点的方法对整图的灰度二进制文件的效果进行调整。

4.一种闪光砂光刻文件设计方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1.读取界面的参数信息，若参考图片是对称变换图片，则将计算的参考图片长度减半，然后转入步骤S3；否则，进入步骤S2；

S2.生成所需图片尺寸信息，然后进入步骤S3；

S3.判断读取的图片是否存在，若存在，则进入步骤S4；否则，转入步骤S7；

S4.判断图片信息是否符合步骤S2中生成的图片尺寸信息，若符合，则进入步骤S5；否则，转入步骤S7；

S5.判断文件路径是否存在，若存在，则进入步骤S6；否则，转入步骤S7；

S6.选择闪光砂类型，根据图片灰度判断生成闪光砂各区域分布概率，生成整体的文件，然后进入步骤S7，所述整体的文件采用二进制的文件设计格式；

S7.跳出提示界面，结束操作。

5.如权利要求4所述的一种闪光砂光刻文件设计方法，其特征在于：步骤S6中生成整体的文件后，还包括对整体图像效果的微调，具体包括以下步骤：

S61.根据用户选择的砂粒圆滑程度来判断进行中值滤波连续采样的次数；

S62.完成后通过直方图均衡增强算法将灰度映射到0-255的范围上；

S63.根据用户填入的噪点比例给方案添加高斯噪声。

6.如权利要求4所述的一种闪光砂光刻文件设计方法，其特征在于：所述整体的文件采用划分成多个小区域的方式，按区域逐步写入硬盘。