[发明专利]micro LED芯片的高通量多通道快速拉曼检测系统有效
申请号: | 202210257518.8 | 申请日: | 2022-03-16 |
公开(公告)号: | CN114813697B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 沈春生 | 申请(专利权)人: | 江苏暖阳半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;G01N21/01 |
代理公司: | 盐城汇聪知识产权代理事务所(普通合伙) 32581 | 代理人: | 杨勇 |
地址: | 224000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 芯片 通量 通道 快速 检测 系统 | ||
1.一种micro LED芯片的高通量多通道快速拉曼检测系统,其特征在于,包括:
检测平台(1);
芯片放置单元(2),所述芯片放置单元(2)通过姿态调整单元(3)安装于所述姿态调整平台(1)上,所述芯片放置单元(2)上设有若干个用于放置芯片的存放腔室;
拉曼探头组单元(4),所述拉曼探头组单元(4)通过升降单元(5)安装于所述检测平台(1)上,所述拉曼探头组单元(4)位于所述芯片放置单元(2)上方,并一一对应各所述存放腔室设置;
所述姿态调整单元(3)包括:
行走轨道(31),所述行走轨道(31)固定安装于所述检测平台(1)上;
主行走槽(32),所述主行走槽(32)开设于所述行走轨道(31)上;
滚轮行走槽(33),两个所述滚轮行走槽(33)以所述主行走槽(32)为中心对称开设于所述行走轨道(31)上;
行走座(34),所述行走座(34)行走于所述行走轨道(31)上,所述芯片放置单元(2)安装于所述行走座(34)顶端;
固定转座(35),所述固定转座(35)安装于所述行走座(34)底端,所述固定转座(35)行走于所述主行走槽(32)内;
所述芯片放置单元(2)包括:
芯片放置板,所述芯片放置板上并列设有若干个用于放置芯片的存放腔室,所述存放腔室深度小于两倍的芯片厚度;
芯片放置槽,所述芯片放置槽安装于所述芯片放置板一端,所述芯片放置板另一端搭设于所述行走座(34)顶端;
升降槽,所述升降槽开设于所述行走座(34)顶端;
升降块(11),所述升降块(11)滑动连接于所述升降槽内;
支撑杆(12),所述支撑杆(12)固定连接于所述升降块(11)上;
第一转杆,所述第一转杆一端与所述支撑杆(12)转动连接,所述第一转杆另一端与所述芯片放置板底端转动连接;
所述行走座(34)上设有:
动力室(36),所述动力室(36)设于所述行走座(34)内;
安装圆槽,所述安装圆槽开设于所述行走座(34)底端,所述固定转座(35)安装于所述安装圆槽内;
滚轮安装室(37),两个所述滚轮安装室(37)以所述安装圆槽为中心对称设于所述行走座(34)内,所述滚轮安装室(37)连通于所述行走座(34)底端;
传动箱安装室(38),两个所述传动箱安装室(38)以所述安装圆槽为中心对称设于所述行走座(34)内,所述传动箱安装室(38)位于所述滚轮安装室(37)远离安装圆槽端,且所述传动箱安装室(38)连通于所述滚轮安装室(37)内,所述传动箱安装室(38)截面设为四分之一圆弧状结构;
传动箱(39),所述传动箱(39)安装于所述传动箱安装室(38)内,所述传动箱(39)滑动连接于所述传动箱安装室(38)内;
滚轮安装轴,所述滚轮安装轴一端与所述固定转座(35)侧端连接,所述滚轮安装轴另一端伸入所述传动箱(39)内;
第一斜齿轮安装室(30),两个所述第一斜齿轮安装室(30)以所述动力室(36)为中心对称设于所述行走座(34)内,所述第一斜齿轮安装室(30)位于所述滚轮安装室(37)上方;
第二斜齿轮安装室(61),两个所述第二斜齿轮安装室(61)以所述动力室(36)为中心对称设于所述行走座(34)内,所述第二斜齿轮安装室(61)位于所述第一斜齿轮安装室(30)上方;
第一转轴(62),所述第一转轴(62)一端伸入所述第一斜齿轮安装室(30)内,所述第一转轴(62)另一端伸入所述传动箱(39)内;
带轮(63),两个所述带轮(63)设于所述传动箱(39)内,其中一个所述带轮(63)安装于所述第一转轴(62)上,其中另一个所述带轮(63)安装于所述滚轮安装轴上;
传动带(64),所述传动带(64)设于所述传动箱(39)内,所述传动带(64)套设于两个所述带轮(63)上;
滚轮(65),所述滚轮(65)设于所述滚轮安装室(37)内,所述滚轮(65)安装于所述滚轮安装轴上;
滚轮安装座,所述滚轮安装座滑动连接于所述滚轮安装室(37)内顶部,所述滚轮安装座通过支架连接于滚轮安装轴上,所述滚轮(65)位于两个所述支架之间;
啮合的一对第一斜齿轮(66),所述第一斜齿轮(66)设于所述第一斜齿轮安装室(30)内,其中一个所述第一斜齿轮(66)安装于所述第一转轴(62)上;
啮合的一对第二斜齿轮(67),所述第二斜齿轮(67)设于所述第二斜齿轮安装室(61)内;
第二转轴,所述第二转轴一端伸入所述第一斜齿轮安装室(30)内,并与所述另一个所述第一斜齿轮(66)连接,所述第二转轴另一端伸入所述第二斜齿轮安装室(61)内,并与其中一个所述第二斜齿轮(67)连接;
第三转轴,所述第三转轴一端伸入所述动力室(36)内,所述第三转轴另一端伸入所述第二斜齿轮安装室(61)内,并与其中另一个所述第二斜齿轮(67)连接;
上转轴(68),所述上转轴(68)转动安装于所述动力室(36)内;
右斜齿轮,所述右斜齿轮设于所述动力室(36)内,所述右斜齿轮安装于所述上转轴(68)上;
第三斜齿轮,所述第三斜齿轮设于所述动力室(36)内,所述第三斜齿轮与所述右斜齿轮啮合,所述第三斜齿轮安装于所述第三转轴上;
驱动电机(69),所述驱动电机(69)安装于所述动力室(36)内壁上;
花键轴(60),所述花键轴(60)设于所述动力室(36)内,所述花键轴(60)安装于所述驱动电机(69)输出端,所述花键轴(60)位于所述上转轴(68)下方;
第一直齿轮(71),所述第一直齿轮(71)通过花键套套设于所述花键轴(60)上;
第二直齿轮(72),所述第二直齿轮(72)安装于所述上转轴(68)上,所述第二直齿轮(72)与所述第一直齿轮(71)啮合;
滑动横槽(73),所述滑动横槽(73)开设于所述动力室(36)内壁上;
磁性滑块(74),所述磁性滑块(74)一端与所述花键套连接,所述磁性滑块(74)另一端滑动连接于所述滑动横槽(73)内;
电磁铁装置(75),所述电磁铁装置(75)安装于所述滑动横槽(73)内,所述电磁铁装置(75)适配所述磁性滑块(74)设置;
回位弹簧,所述回位弹簧安装于所述滑动横槽(73)内,所述回位弹簧连接于所述磁性滑块(74)和滑动横槽(73)内壁之间;
下转轴(76),所述下转轴(76)转动安装于所述动力室(36)内,所述下转轴(76)位于所述花键轴(60)下方;
第三直齿轮(77),所述第三直齿轮(77)安装于所述下转轴(76)上,所述第三直齿轮(77)与所述第一直齿轮(71)啮合;
中心转轴(78),所述中心转轴(78)一端固定连接于所述固定转座(35)顶端,所述中心转轴(78)另一端穿设所述安装圆槽,并伸入所述动力室(36)内;
啮合的一对第四斜齿轮(79),所述第四斜齿轮(79)设于所述动力室(36)内,其中一个所述第四斜齿轮(79)安装于所述下转轴(76)上,其中另一个所述第四斜齿轮(79)安装于所述中心转轴(78)上。
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