[发明专利]一种电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极及其制备方法

权利要求书

1.一种电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，包括：

采用预设浓度的混合酸腐蚀钽壳内壁；

使用去离子水超声多次清洗被腐蚀的钽壳内壁后进行干燥处理；

采用真空等离子设备对干燥处理后的钽壳内壁进行修饰；

采用旋转涂敷法和高频感应烘干工艺将前驱体溶胶粘附在修饰后的钽壳内壁；

将涂敷后的钽壳内壁置于鼓风加热炉，加热预设温度和预设时间得到钽壳二氧化钌薄膜电极。

2.根据权利要求1所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，在采用预设浓度的混合酸腐蚀钽壳内壁之前，还包括：

采用喷砂工艺处理钽壳内壁表面。

3.根据权利要求1所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，钽壳中钽的含量为99.95％以上。

4.根据权利要求2所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，钽壳内壁表面经喷砂工艺处理后的粗糙度为180-200目之间。

5.根据权利要求1所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，所述混合酸包括98％浓度的硫酸、69％浓度的硝酸和40％浓度的氢氟酸；98％浓度的硫酸、69％浓度的硝酸和40％浓度的氢氟酸间的体积比为4：2：1。

6.根据权利要求1所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，所述前驱体溶胶为RuCl₃·xH₂O溶解于正丙醇形成的溶胶。

7.根据权利要求1所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，其特征在于，所述预设温度为240℃-260℃；所述预设时间为2h-3h。

8.一种电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极，其特征在于，采用如权利要求1-7任意一项所述的电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法制备得到。