[发明专利]一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具

权利要求书

1.一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具，包括芯轴（1）、套设且固定在芯轴（1）上的第一定位板（2）与第二定位板（3）、设置于第一定位板（2）上的若干定位筒（4）以及固定在芯轴（1）上的驱动盘（5），所述定位筒（4）围绕芯轴（1）轴芯设置，其特征在于，所述芯轴（1）不带电；或者，当芯轴（1）带电时，在芯轴（1）上设隔绝件（6），所述隔绝件（6）将芯轴（1）的工作区完全遮蔽，所述隔绝件（6）不带电。

2.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，当芯轴（1）不带电时，所述芯轴（1）采用绝缘材料制作而成。

3.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述隔绝件（6）为采用绝缘材料制作而成的套筒并套设在芯轴（1）上。

4.根据权利要求2或3所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述绝缘材料为绝缘陶瓷材料。

5.根据权利要求4所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述绝缘陶瓷材料为氧化铝陶瓷。

6.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述隔绝件（6）为设置于芯轴（1）表面的绝缘层。

7.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述隔绝件（6）包括第一材质管（61）以及位于第一材质管（61）两端的第二材质管（62），所述第一材质管（61）与芯轴（1）不接触，所述第二材质管（62）绝缘。

8.根据权利要求7所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，两端所述第二材质管（62）上均设置有台阶（63），所述第一材质管（61）套设于台阶（63）上。

9.根据权利要求1-3或者5-8中任意一项所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，在所述隔绝件（6）与导电物体的接触部位设置有遮蔽罩。

10.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，所述隔绝件（6）壁厚大于1mm。

11.根据权利要求1所述针对长杆状工件进行PECVD的夹具，其特征在于，在所述芯轴（1）上设置有第三定位板（7），所述第三定位板（7）位于第一定位板（2）、第二定位板（3）之间，所述定位筒（4）穿过第三定位板（7）。