[发明专利]基板组件、显示装置及基板组件的制作方法在审
申请号: | 202210278667.2 | 申请日: | 2022-03-21 |
公开(公告)号: | CN114725023A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 黄亮;周森;李琼凤 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;G09F9/33 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 尹红敏 |
地址: | 200120 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 显示装置 制作方法 | ||
1.一种基板组件,用于显示装置,其特征在于,包括:
基板,具有第一表面;
过渡层,层叠设置于所述基板的所述第一表面,所述过渡层包括第一膜层和第二膜层,所述第二膜层设置于所述第一膜层背向所述基板的一侧,所述第一膜层包括氮氧化硅,所述第二膜层包括二氧化硅;
抗菌膜层,设置于所述第二膜层背向所述基板的一侧,所述抗菌膜层包括硅氧化物、主体材料以及掺杂材料,所述主体材料包括氧化钛、氧化锗、氧化铈、氧化镉、氧化铜及氧化钴中的至少一者,所述掺杂材料包括锆、铅、金、铑及钯中的至少一者。
2.根据权利要求1所述的基板组件,其特征在于,所述抗菌膜层中所述掺杂材料的质量百分比为0.3%-5%。
3.根据权利要求1所述的盖板组件,其特征在于,所述抗菌膜层中所述硅氧化物的质量百分比为1%-5%。
4.根据权利要求1所述的盖板组件,其特征在于,所述过渡层还包括第三膜层,所述第三膜层设置于所述第一膜层与所述基板之间,所述第一膜层的折射率大于所述第三膜层的折射率。
5.根据权利要求4所述的基板组件,其特征在于,所述第三膜层包括二氧化硅。
6.根据权利要求5所述的基板组件,其特征在于,所述基板为玻璃基板或塑料基板。
7.根据权利要求4所述的基板组件,其特征在于,所述抗菌膜层的厚度为150nm-200nm,所述第一膜层的厚度为10nm-25nm,所述第二膜层的厚度为150nm-200nm,所述第三膜层的厚度为280nm-320nm。
8.根据权利要求1所述的基板组件,其特征在于,所述抗菌膜层与所述过渡层无界面结合;所述过渡层与所述基板无界面结合。
9.根据权利要求1所述的基板组件,其特征在于,还包括防指纹膜层,所述防指纹膜层设置在所述抗菌膜层背向所述基板的一侧。
10.根据权利要求9所述的基板组件,其特征在于,所述防指纹膜层包括含氟硅烷偶联剂;所述抗菌膜层还包括硅氧化物。
11.根据权利要求9所述的基板组件,其特征在于,所述防指纹膜层的厚度小于或等于10μm。
12.根据权利要求1所述的基板组件,其特征在于,所述基板朝向所述抗菌膜层的一侧表面的粗糙度小于0.25%,光泽度为25%-140%,雾度为1%-20%。
13.一种显示装置,其特征在于,包括:
显示面板,具有出光侧;
基板组件,所述基板组件为权利要求1-12任一项所述的基板组件,所述基板组件设置于所述显示面板的所述出光侧,且所述抗菌膜层位于所述基板背向所述显示面板的一侧。
14.一种基板组件的制作方法,其特征在于,包括:
提供基板;
在所述基板上形成第一膜层,所述第一膜层包括氮氧化硅;
在所述第一膜层上形成第二膜层,所述第二膜层包括二氧化硅;
在所述第二膜层上形成抗菌膜层,所述抗菌膜层包括硅氧化物、主体材料以及掺杂材料,所述主体材料包括氧化钛、氧化锗、氧化铈、氧化镉、氧化铜及氧化钴中的至少一者,所述掺杂材料包括锆、铅、金、铑及钯中的至少一者。
15.根据权利要求14所述的基板组件的制作方法,其特征在于,所述在所述基板上形成第一膜层之前,所述制作方法还包括:
在所述基板上形成第三膜层,所述第三膜层包括二氧化硅。
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