[发明专利]PVD工艺腔装配辅助校准治具及方法

权利要求书

1.一种PVD工艺腔装配辅助校准治具，其特征在于，包括校准杆梢和至少三组校准模块，校准杆梢的直径与治具中心设置的校准杆孔的孔径一致，使用过程中，至少三组校准模块相互接触且呈中心对称设置，校准杆孔位于至少三组校准模块的正中间，校准杆梢穿过校准杆孔并可插入至位于治具下方的待校准模块的圆心定位孔中；所述校准模块包括支撑部、校准结构和固定结构，所述校准结构与所述支撑部相连接，且可在所述支撑部上沿水平方向移动，所述固定结构与所述支撑部的远离校准杆孔的一端相连接；所述校准结构包括升降杆、平移块和定位块，所述升降杆穿过所述支撑部，且可以在纵向升降，所述平移块设置于所述支撑部上并与所述支撑部滑动连接，可在水平方向移动以调节所述校准结构所处的位置，所述升降杆上下贯穿所述平移块，并与所述平移块通过螺纹活动连接，所述定位块位于所述升降杆上，并与所述升降杆固定连接；所述支撑部包括支撑主体、位于所述支撑主体上的移动槽和预留操作口，所述移动槽为所述校准结构提供水平方向和竖直方向移动的空间，所述预留操作口位于所述支撑部远离中心位置的一端，且位于所述固定结构的活动块紧固件的上方，通过所述预留操作口对所述固定结构的活动块进行固定操作，所述移动槽上设置有装配缺口和缺口补充块，所述装配缺口为所述移动槽上贯通至所述支撑部边缘的预留装配空间，大小与所述缺口补充块一致，所述缺口补充块上开设有与所述移动槽对应的活动槽，活动槽与所述装配缺口尺寸一致，所述活动槽与所述移动槽共同构成校准结构的水平移动空间。

2.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述校准杆梢的材质包括金属和陶瓷中的任意一种，所述校准杆梢上设置有定位标志刻度，用于标识所述校准杆梢的插入位置；所述支撑部还设置有位于支撑主体表面的第一刻度尺，用于计量所述校准结构在水平方向上的移动距离。

3.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述固定结构还包括螺纹杆和升降块，所述螺纹杆贯穿所述支撑部并向下延伸至与位于所述支撑部下方的所述升降块螺纹连接，通过旋转所述螺纹杆可带动所述升降块上下移动；所述活动块位于所述升降块上，并与所述升降块固定连接，活动块上预留有水平方向伸缩移动的空间。

4.根据权利要求3所述的治具，其特征在于，所述固定结构还包括升降轨，所述升降轨设置于所述升降块和所述支撑部顶端的中间位置，并与所述支撑部固定连接，所述升降块套设于所述升降轨上，且可沿所述升降轨上下移动。

5.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述平移块上还可设置有滑动件，所述滑动件位于所述平移块内侧并与所述平移块活动连接，用于确保所述平移块在所述移动槽内平滑移动。

6.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述定位块包括固定部和延伸部，所述固定部一端与所述平移块固定连接，另一端与所述延伸部固定连接，所述延伸部位于所述移动槽内并贯穿所述移动槽，且位于所述平移块远离治具中心的一侧。

7.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述升降杆底部设置有非磁性的柔性抵触头，上部设置有旋转把手。

8.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述治具还包括横跨于所述校准杆孔上方的辅助支撑结构，所述辅助支撑结构上设置有辅助定位孔，辅助定位孔尺寸与校准杆孔尺寸一致且位于同一垂线上，使用时，校准杆梢依次穿过辅助定位孔和校准杆孔。

9.根据权利要求1-8任一项所述的治具，其特征在于，待校准模块包括晶圆基座和螺旋型磁铁组件中的任意一种。

10.一种PVD工艺腔装配辅助校准方法，其特征在于，所述校准方法使用如权利要求1-9任一项所述的PVD工艺腔装配辅助校准治具进行。