[发明专利]一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法

权利要求书

1.一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)建立相对膜厚与变量之间的仿真模型，利用Mathcad15进行编程仿真，设计程序模拟热蒸发设备薄膜厚度分布，通过实验确定使用电子束热蒸发设备蒸发源的发射特性n；

2)在相对膜厚与变量之间仿真模型中引入修正挡板函数,实现旋转球面蒸发系统的膜厚分布模拟，将镀膜机的夹具旋转速度、沉积特性蒸发特性n等参数导入Mathcad程序中，通过仿真模型确定线性渐变滤光片所需要的初始修正挡板；

3)使用石英晶振法监控膜厚，进行单层工艺试验优化出渐变线性滤光片的修正挡板。

2.根据权利1要求所述一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法，其特征在于：所述变量是修正挡板的位置，修正挡板的形状和材料的发射特性n，蒸发源所在平面与球形工件架最高点的距离H，球形工件架的曲率半径R，蒸发源与球形工件架转轴中心的距离L，工件架上任意点P三维的坐标(x,y,z)。