[发明专利]一种小型化质谱离子源的加热控温装置在审
申请号: | 202210282498.X | 申请日: | 2022-03-22 |
公开(公告)号: | CN114709128A | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 唐紫超;陶佳梁;余竞雄;曾庆杰 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;H01J49/16 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张迪 |
地址: | 361000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 小型化 离子源 加热 装置 | ||
1.一种小型化质谱离子源的加热控温装置,包括真空腔室,其特征在于:所述真空腔室外接设有温控系统,所述真空腔室内置有相互连通的加热管和离子传输系统;
所述温控系统包括宇电表、继电器、加热电源和PC端,所述加热管和继电器串联在加热电源两端形成电流回路;
所述继电器用于控制其电流回路的通断;
所述宇电表通信连接PC端,所述宇电表与加热管之间连接设有用于监控温度的热电偶;
所述宇电表输入端连接热电偶,其输出端与继电器连接并控制继电器的通断。
2.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述加热管由外向内设置有保温层、加热丝和导热管,所述加热丝的两端分别与加热电源连接;
所述热电偶放置在导热管内,其一端由导热管底部延伸出并连接宇电表。
3.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述保温层为裹设在加热丝外围的高温无机胶。
4.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述加热丝为碳钎维加热丝,其均匀缠绕在导热管外壁上。
5.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述导热管为中空的氮化铝导热管,其中空管道内设置有热解反应室。
6.根据权利要求5所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述热解反应室由导热管的顶部向内延伸至深度为H处并涂置高温无机胶薄膜形成的。
7.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述真空腔室内设有底座支撑杆,所述加热管通过陶瓷螺栓悬空固定在底座支撑杆上。
8.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述离子传输系统包括推斥极和与推斥极相通的电离室,所述推斥极在位于加热管顶部出口处设有通孔。
9.根据权利要求8所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述推斥极与电离室之间设有绝缘垫。
10.根据权利要求9所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述绝缘垫为陶瓷绝缘垫。
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