[发明专利]一种小型化质谱离子源的加热控温装置在审

专利信息
申请号: 202210282498.X 申请日: 2022-03-22
公开(公告)号: CN114709128A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 唐紫超;陶佳梁;余竞雄;曾庆杰 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04;H01J49/16
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张迪
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 小型化 离子源 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种小型化质谱离子源的加热控温装置,包括真空腔室,其特征在于:所述真空腔室外接设有温控系统,所述真空腔室内置有相互连通的加热管和离子传输系统;

所述温控系统包括宇电表、继电器、加热电源和PC端,所述加热管和继电器串联在加热电源两端形成电流回路;

所述继电器用于控制其电流回路的通断;

所述宇电表通信连接PC端,所述宇电表与加热管之间连接设有用于监控温度的热电偶;

所述宇电表输入端连接热电偶,其输出端与继电器连接并控制继电器的通断。

2.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述加热管由外向内设置有保温层、加热丝和导热管,所述加热丝的两端分别与加热电源连接;

所述热电偶放置在导热管内,其一端由导热管底部延伸出并连接宇电表。

3.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述保温层为裹设在加热丝外围的高温无机胶。

4.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述加热丝为碳钎维加热丝,其均匀缠绕在导热管外壁上。

5.根据权利要求2所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述导热管为中空的氮化铝导热管,其中空管道内设置有热解反应室。

6.根据权利要求5所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述热解反应室由导热管的顶部向内延伸至深度为H处并涂置高温无机胶薄膜形成的。

7.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述真空腔室内设有底座支撑杆,所述加热管通过陶瓷螺栓悬空固定在底座支撑杆上。

8.根据权利要求1所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述离子传输系统包括推斥极和与推斥极相通的电离室,所述推斥极在位于加热管顶部出口处设有通孔。

9.根据权利要求8所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述推斥极与电离室之间设有绝缘垫。

10.根据权利要求9所述的一种小型化质谱离子源的加热控温装置,其特征在于:所述绝缘垫为陶瓷绝缘垫。

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