[发明专利]基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构及制备方法

权利要求书

1.一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构，其特征在于，包括从上到下依次层叠的多个尺寸相同的正方型结构层，各结构层都为中心对称图形，依次为：分形方片结构电阻型频率选择表面FSS(1)、第一层介质层(2)、方环结构电阻型频率选择表面FSS(3)、第二层介质层(4)、弯曲线结构电阻型频率选择表面FSS(5)、第三层介质层(6)、金属背板(7)；

分形方片结构电阻型频率选择表面FSS(1)包括衬底中心的分形方片电阻膜，分形方片电阻膜通过在正方型电阻膜四条边各自中点向正方型中心去除4个相同的矩形得到；

方环结构电阻型频率选择表面FSS(3)为衬底中心的方环形电阻膜；

弯曲线结构电阻型频率选择表面FSS(5)包括衬底上的4个弯曲线单元(51)，左上角的弯曲线单元(51)包括：位于上方横向上依次连接的多个横向方波结构(511)、连接在横向方波结构(511)下方的纵向上依次连接的纵向方波结构(512)，左上角的弯曲线单元(51)绕衬底中心依次顺时针旋转90°分别得到其余3个弯曲线单元(51)。

2.根据权利要求1所述的一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构，其特征在于：分形方片结构电阻型频率选择表面FSS(1)、方环结构电阻型频率选择表面FSS(3)、弯曲线结构电阻型频率选择表面FSS(5)上的频率选择表面FSS材料选自导电碳浆、氧化铟锡、石墨烯导电浆料、碳纳米管导电浆料、导电银浆其中一种。

3.根据权利要求1所述的一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构，其特征在于：第一层介质层(2)、第二层介质层(4)、第三层介质层(6)材料选自聚甲基丙烯酰亚胺泡沫、聚酰亚胺泡沫、聚氨酯泡沫、聚氯乙烯泡沫、酚醛泡沫塑料、聚乙烯泡沫塑料其中一种。

4.根据权利要求1所述的一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构，其特征在于：金属背板(7)材料选择铜、铝、金、银其中一种。

5.权利要求1至4任意一项所述的一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

①选用衬底材料，使用磁控溅射方法将电阻膜镀在衬底材料表面上；

②采用四探针测试仪测试连续电阻膜的表面电阻，分别制备阻值为20-40Ω/sq、40-60Ω/sq、130-180Ω/sq的系列连续电阻膜；

③通过激光刻蚀技术在系列电阻膜上进行图案化刻蚀，分别制备阻值范围为20-40Ω/sq的分形方片结构电阻型频率选择表面FSS(1)、阻值范围为40-60Ω/sq的方环结构电阻型频率选择表面FSS(3)、阻值范围为130-180Ω/sq的弯曲线结构电阻型频率选择表面FSS(5)；

④选用介质材料，将各层材料按顺序粘接成为整体，并在材料底部刻蚀金属背板(7)；

⑤最后通过裁剪、修形，得到基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构。

6.权利要求1至4任意一项所述的一种基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

①选用衬底材料，分别通过丝网印刷得到分形方片结构电阻型频率选择表面FSS(1)、方环结构电阻型频率选择表面FSS(3)、弯曲线结构电阻型频率选择表面FSS(5)；

②采用四探针测试仪测试连续电阻膜的表面电阻，分别制备阻值为20-40Ω/sq、40-60Ω/sq、130-180Ω/sq的系列连续电阻膜；

④选用介质材料，将各层材料按顺序粘接成为整体，并在材料底部刻蚀金属背板(7)；

⑤最后通过裁剪、修形，得到基于多层电阻型FSS的超宽带吸波结构。