[发明专利]一种光致超声发射器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210287845.8 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114642448A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 胡二涛;林一波;韦玮;余柯涵;王静;王博永;丁建永 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | A61B8/00 | 分类号： | A61B8/00;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢霞 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声 发射器 及其 制作方法 | ||
1.一种光致超声发射器，包括透明玻璃基片、光吸收部分和热膨胀材料，其特征在于，所述光吸收部分包括：多孔氧化铝阵列、金属薄膜及金属纳米颗粒；所述金属薄膜为沉积在所述多孔氧化铝阵列表面的膜层，所述金属薄膜厚度为50-120nm；所述金属纳米颗粒吸附于所述多孔氧化铝阵列的纳米孔壁上，晶粒直径大小范围为10-25nm；所述热膨胀材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)，所述热膨胀材料填充在所述纳米孔中。
2.如权利要求1所述的光致超声发射器，其特征在于，所述金属薄膜和所述金属纳米颗粒的材料为铝或银。
3.如权利要求1所述的光致超声发射器，其特征在于，所述多孔氧化铝阵列的孔中心间距450nm、孔径大小250-350nm。
4.如权利要求1所述的光致超声发射器，其特征在于，所述阳极氧化铝厚度60μm。
5.一种光致超声发射器的制作方法，其特征在于，所述制备过程包括：使用磁控溅射仪在双通多孔阳极氧化铝阵列上沉积金属薄膜，在纳米孔内自组装沉积金属纳米颗粒，从而形成金属纳米颗粒-多孔氧化铝阵列复合层；将制备的金属纳米颗粒-多孔氧化铝阵列复合层浸泡在PDMS溶液中，搅拌后静置，待溶液充分浸入多孔氧化铝的纳米孔中后，将其取出，并放置在玻璃基片上；将玻璃基金属纳米颗粒-多孔氧化铝阵列-PDMS复合层放入真空干燥箱中，经固化处理之后，得到光致超声发射器。
6.如权利要求5所述的一种光致超声发射器的制作方法，其特征在于，所述金属薄膜为铝膜，且所述铝膜沉积速率为0.05nm/s，沉积时间为1000s～2400s。
7.如权利要求6所述的一种光致超声发射器的制作方法，其特征在于，所述金属薄膜沉积时间为2000s。
8.如权利要求5所述的一种光致超声发射器的制作方法，其特征在于，所述搅拌时间为1-30min。
9.如权利要求5所述的一种光致超声发射器的制作方法，其特征在于，所述真空干燥的时间为5-100min，干燥时温度为60-120℃。
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