[发明专利]一种紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置及测量方法在审

专利信息
申请号: 202210293152.X 申请日: 2022-03-23
公开(公告)号: CN114674445A 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 侯国辉;侯国利;刘友兰;侯利艳 申请(专利权)人: 深圳市笨辉光电科技有限公司
主分类号: G01J11/00 分类号: G01J11/00
代理公司: 深圳市新虹光知识产权代理事务所(普通合伙) 44499 代理人: 刘莹莹
地址: 518000 广东省深圳市宝安区西乡街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 紫外 皮秒内超快 脉冲 时间 宽度 测量 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,包括:

移动镜组,所述移动镜组包括多个滤波折射镜,所述滤波折射镜能够透射380nm以上光波和能够折射紫外光波;

分光镜,所述分光镜的分光角度能够被调节,所述分光镜朝向光波发生的方向设置于所述移动镜组后端;

短波折射镜,所述短波折射镜的折射角度能够被调节,所述短波折射镜朝向光波发生的方向设置于所述移动镜组后端;

第一长波反射镜,所述第一长波反射镜朝向所述分光镜的光波折射方向设置;

第二长波反射镜,所述第二长波反射镜朝向所述分光镜的光波透射方向设置;

光波接收组件,所述光波接收组件朝向所述分光镜和所述短波折射镜设置;

其中,所述移动镜组和所述短波折射镜构成将紫外光波导向所述光波接收组件的第一光路,所述移动镜组、所述分光镜、所述第一长波反射镜和所述第二长波反射镜共同构成将380nm以上光波导向所述光波接收组件的第二光路。

2.根据权利要求1所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,所述装置还包括高精度电控位移台,所述高精度位移台包括运动臂,所述短波折射镜和所述第一长波反射镜均设置于所述运动臂上,所述运动臂能够同时调节所述短波折射镜的折射角度和所述第一长波反射镜的反射角度。

3.根据权利要求2所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,所述光波接收组件和所述第二长波反射镜均设置于所述高精度电控位移台上,所述高精度电控位移台能够调节所述光波接收组件的接收焦距和所述第二长波反射镜的反射角度。

4.根据权利要求1所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,所述光波接收组件包括聚焦镜、采样晶体和探测器,所述聚焦镜、所述采样晶体和所述探测器依序设置,所述探测器设置于所述聚焦镜远离所述分光镜的一侧。

5.根据权利要求4所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,所述探测器为光谱仪。

6.根据权利要求1所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,所述移动镜组还包括电控驱动调节机构,多个所述滤波折射镜均通过榫牟结构设置于所述电控驱动调节机构上,所述电控驱动调节机构能够调节所述滤波折射镜的折射角度。

7.一种测量方法,应用于权利要求1-6中任一项所述的紫外1皮秒内超快脉冲时间宽度测量装置,其特征在于,包括以下步骤:

滤波折射镜将光波中的紫外光波折射到短波折射镜上,短波折射镜沿着第一光路将紫外光波折射到光波接收组件上;

光波接收组件获取得到紫外光波;

滤波折射镜将光波中380nm以上光波进行透射到分光镜上,分光镜将透射的光波分成第一部分光波和第二部分光波;

分光镜将第一部分光波折射到第一长波反射镜上,第一长波反射镜再将第一部分光波反射到光波接收组件上;

分光镜将第二部分光波透射到第二长波反射镜上,第二长波反射镜再将第二部分光波反射回分光镜上,分光镜将反射回来的第二部分光波进行分光后折射到光波接收组件上;

光波接收组件获取得到第一长波反射镜反射的第一部分光波和分光镜折射的第二部分光波。

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