[发明专利]一种连续式ALD镀膜设备的腔体结构

权利要求书

1.一种连续式ALD镀膜设备的腔体结构，其特征在于，包含：

箱体组件，包括依次连接的加热腔体(12)、连接腔体(5)和冷却腔体(9)，以及配置于所述连接腔体(5)内的镀膜腔体(4)；所述加热腔体(12)设置有加热腔室(6)；所述连接腔体(5)设置有连接腔室(11)；所述冷却腔体(9)设置有冷却腔室(3)；所述镀膜腔体(4)设置有镀膜腔室(10)，且配置于所述连接腔室(11)；以及

密封组件，包括配置于所述箱体组件的六个插板门(2)；第一个插板门(2)和第二个插板门(2)分别用以连通所述镀膜腔室(10)和所述连接腔室(11)；第三个插板门(2)用以连通所述加热腔室(6)和连接腔室(11)；第四个插板门(2)用以连通所述连接腔室(11)和所述冷却腔室(3)；第五个插板门(2)用以连通所述加热腔室(6)和所述加热腔体(12)的外部；第六个插板门(2)用以连通所述冷却腔室(3)和所述冷却腔体(9)的外部；

所述箱体组件还包括配置于所述连接腔体(5)的第一检修门(1)；

其中，

所述六个插板门(2)均沿着竖直方向设置，以使所述第一个插板门(2)和所述第二个插板门(2)和所述连接腔室(11)之间形成U形结构、所述第三个插板门(2)和所述第五个插板门(2)和所述加热腔体(12)之间形成U形结构，以及所述第四个插板门(2)和所述第六个插板门(2)和所述冷却腔室(3)之间形成U形结构。

2.根据权利要求1所述的腔体结构,其特征在于,所述六个插板门(2)平行设置，以使工件能够通过所述六个插板门(2)，沿着直线方向依次穿过所述加热腔体(12)、所述镀膜腔体(4)和所述冷却腔体(9)。

3.根据权利要求1所述的腔体结构,其特征在于,所述第一个插板门(2)和所述第二个插板门(2)均配置于所述连接腔体(5)，且能够在开门时和所述镀膜腔体(4)分离；所述连接腔体(5)上设置有取放所述镀膜腔体(4)用的第一检修门(1)。

4.根据权利要求1所述的腔体结构,其特征在于,所述插板门(2)包括能够在腔体上上下活动的驱动板(60)、铰接于所述驱动板(60)的连接件(66)、铰接于所述连接件(66)的密封板(65)，以及接合于所述驱动板(60)的伸缩驱动件(58)；所述伸缩驱动件(58)能够驱使所述驱动板(60)向下移动至所述密封板(65)的下方抵接于外部物体；所述伸缩驱动件(58)还能够驱使所述驱动板(60)继续向下移动，从而让所述连接件(66)旋转并驱动所述密封板(65)横向移动至侧面密封抵接于腔体的开口；

其中，

所述驱动板(60)和所述连接件(66)铰接于A轴；所述密封板(65)和所述连接件(66)铰接于B轴；所述A轴和所述B轴位于C平面；所述插板门(2)构造为：当所述驱动板(60)上下活动时，所述驱动板(60)所在的平面和所述C平面之间的夹角D始终小于90度。

5.根据权利要求4所述的腔体结构,其特征在于,所述插板门(2)还包括滚轮机构(63)和限位块(59)；所述滚轮机构(63)用以配置于箱体中位于所述密封板(65)下方的位置，能够限制所述密封板(65)向下活动时的极限位置，以及减小所述密封板(65)横向移动时的摩擦力；所述限位块(59)用以配置于所述驱动板(60)或腔体上，用以限制所述驱动板(60)向上活动时的基线位置；

所述插板门(2)还包括配置于所述密封板(65)的下端的滑动支撑板(62)；所述滑动支撑板(62)用以抵接所述滚轮机构(63)。