[发明专利]一种晶圆良率数据的处理方法及装置

权利要求书

1.一种晶圆良率数据的处理方法，其特征在于，包括：

在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件，所述至少一个从显示组件包括与所述主显示组件在相同数据维度上的晶圆良率堆叠图和/或失效类型失效率图表，其中，所述失效类型失效率图表用于展示在不同预设失效类型下的晶圆失效率；

响应于用户在所述主显示组件的所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的所述至少一个数据维度的数据范围；

确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之前，所述方法还包括：

获取晶圆测试的生数据，并按照至少一种数据维度对所述生数据进行预统计并存储预统计结果；

对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

根据与所述数据范围相匹配的数据维度所对应的预统计结果，生成所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之后，所述方法还包括：

响应于用户对所述主显示组件中晶圆良率和/或良率相关参数的切换，切换显示与所述主显示组件相匹配的至少一个从显示组件。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

确定所述数据范围所对应的良率及良率相关参数的数值、晶圆良率的堆叠值和/或失效类型失效率的统计值；

对应地，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述良率及良率相关参数的数值调整所述图表组件的展示结果，根据所述晶圆良率的堆叠值调整所述晶圆良率堆叠图的展示结果和/或根据所述失效类型失效率的统计值调整所述失效类型失效率图表的展示结果。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括：

响应于用户在所述晶圆良率堆叠图上的预设操作，展示参与统计所述晶圆良率堆叠图的各个晶圆的晶圆良率图。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件，并在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对比显示所述数据结果所对应的基准数据结果。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述主显示组件包括可在多维度展示失效类型失效率趋势的图表组件的情况下，所述从显示组件至少包括多种失效类型的可选择控件；对应地，所述方法还包括：

响应于用户选择的至少一种失效类型，执行下述中的至少一种调整：

将所述主显示组件切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势；

在所述主显示组件突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率；

在所述从显示组件中所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述筛选操作包括下述中的至少一种：在所述图表组件中自由圈选数据范围、在提供的数据可选项中选择数据范围。