[发明专利]加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法

权利要求书

1.一种用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述单晶生长装置包括：炉体、坩埚以及所述加料组件，所述炉体内限定出炉室，所述坩埚设于所述炉室内，所述加料组件适于向所述坩埚内补充原料，所述加料组件包括：

加料筒，所述加料筒内形成容纳所述原料的容纳腔，所述容纳腔的朝向所述坩埚一侧形成开口；

导料件，所述导料件可移动地设于所述容纳腔内，所述导料件朝向所述开口的表面形成为导料面，所述导料面与所述开口的内周壁之间限定出出料口，所述导料件具有关闭所述出料口的展开状态以及打开所述出料口的收合状态，所述导料件包括：

环形的连接件；

隔挡叶片，在由上至下的方向上，所述隔挡叶片朝向所述连接件的径向外侧倾斜延伸，所述隔挡叶片设有多个，多个隔挡叶片沿所述连接件的周向排布且相邻的两个所述隔挡叶片的至少部分重叠设置，以形成所述导料面，所述导料件在所述展开状态和所述收合状态之间切换的过程中，所述导料面相对于水平面的倾斜角度可变；

调节件，所述调节件适于驱动多个所述隔挡叶片以所述连接件与所述隔挡叶片的连接处的切线为轴转动，使所述导料件在所述展开状态和所述收合状态之间切换，以调节所述出料口的大小以及所述导料面相对于水平面的倾斜角度，所述调节件适于驱动所述连接件升降带动所述导料件升降，以调节所述出料口大小。

2.根据权利要求1所述的单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述调节件包括：

驱动板，所述驱动板设于所述导料件朝向所述坩埚的一侧，所述驱动板与多个所述隔挡叶片朝向所述坩埚的一侧抵接；

第一驱动模块，所述第一驱动模块适于驱动所述驱动板升降。

3.根据权利要求2所述的单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述隔挡叶片上形成过滤孔，所述过滤孔的直径小于所述原料的最小直径，所述隔挡叶片与所述驱动板限定出杂质收集腔，以在所述原料沿所述隔挡叶片下落并从所述出料口进入所述坩埚的过程中，所述原料中的杂质通过所述过滤孔进入所述杂质收集腔。

4.根据权利要求3所述的单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述调节件还包括：

第一底板，所述第一底板设于所述驱动板朝向所述坩埚的轴向端面上，所述驱动板上形成第一过孔，所述第一底板上形成第二过孔，所述第二过孔的内径不小于所述第一过孔的内径，所述第一驱动模块适于驱动所述第一底板相对所述驱动板转动，以使得所述第一过孔和所述第二过孔对齐或错开。

5.根据权利要求2所述的单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述原料至少包括：一类原料和二类原料，所述一类原料的直径大于所述二类原料的直径，所述隔挡叶片上形成分料孔，所述分料孔与所述驱动板在上下方向上相对设置，所述分料孔的直径小于所述一类原料的直径且大于所述二类原料的直径，所述调节件还包括：

第二底板，所述第二底板设于所述驱动板朝向所述坩埚的轴向端面上，所述驱动板上形成第三过孔，所述第三过孔的直径不小于所述二类原料的直径，所述第二底板上形成第四过孔，所述第四过孔的内径不小于所述第三过孔的内径，所述第一驱动模块适于驱动所述第二底板相对所述驱动板转动，以使得所述第三过孔和所述第四过孔对齐或错开。

6.根据权利要求2所述的单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述加料组件还包括：第二驱动模块，所述第二驱动模块包括底端与所述连接件连接的传动轴以及驱动所述传动轴升降和/或转动的第二驱动件，所述第一驱动模块包括：第一驱动件和传动杆，所述驱动板设于所述传动杆的底端，所述第一驱动件适于驱动所述传动杆升降和/或转动，所述传动杆穿设于所述传动轴。

7.一种单晶生长装置，其特征在于，包括：根据权利要求1-6中任一项所述的加料组件。