[发明专利]一种整版铜电镀VCP工艺及其应用

权利要求书

1.一种整版铜电镀VCP工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1：采用EVCP电镀线，选取合适尺寸大小的板材，对需要进行电镀的板材进行上板处理，将板材安装在EVCP电镀线的挂具上；

S2：除油，使用除油剂通过侧面喷淋的方式对板材进行除油处理；

S3：水洗，使用纯净水通过侧面喷淋的方式对除油后的板材进行清洗三次；

S4：酸洗，使用酸洗液通过侧面喷淋的方式对水洗后的板材进行酸洗；

S5：镀铜，根据板材的尺寸，对电镀阳极屏进行自动调节，然后将酸洗后的板材固定到阳极上，然后阴极移动，并采用侧面喷淋交换镀液进行电镀；

S6：水洗，使用纯净水通过侧面喷淋的方式对镀铜后的板材进行清洗两次；

S7：酸洗，使用酸洗液通过侧面喷淋的方式对水洗后的板材进行酸洗；

S8：水洗，使用纯净水通过侧面喷淋的方式对酸洗后的板材进行清洗；

S9：抗氧化，使用抗氧化剂通过侧面喷淋的方式对水洗后的板材进行抗氧化处理；

S10：下板，对板材进行吹干处理，处理后将板材从EVCP电镀线挂具上取下，然后进行检测，检测合格后包装入库即可。

2.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S2中除油过程采用除油剂的为8％-1％HV201除油剂，除油温度控制为30-49℃，除油方式为侧面喷淋，其流量和压力为0.8-1.50L/min，除油喷洗时间为0.35-1.4min。

3.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S2、S6和S8中水洗采用纯净水，每次水洗的温度控制为30-49℃，水洗方式为侧面喷淋，流量和压力为0.8-1.50L/min，喷洗时间为0.35-1.2min。

4.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S4和S7中酸洗过程采用的酸洗液为硫酸，硫酸浓度为6％-10％，酸洗方式为侧面喷淋，流量和压力为0.8-1.50L/min，喷洗时间为0.35-1.2min。

5.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S5中镀液为：硫酸铜60-100g/L、硫酸180-250g/L、氯离子40-70ppm、ST199A0.8-1.5ml/L、sT199M 5-15ml/L、ST1992-5ml/L，渡槽温度控制为20-28℃，优选温度为24℃，渡槽镀液流量和压力分别为：500-1000L/min,5-15kg/cm^2，时间与速度分别为：9.7-38.8min，0.5m/min-2.0m/min。

6.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S9中抗氧剂采用含有甲基苯并三氮唑的有机溶剂，喷淋方式为侧面喷淋，流量和压力为0.8-1.50L/min，喷淋时间为0.35-1.2min。

7.根据权利要求1所述的整版铜电镀VCP工艺，其特征在于：所述S1-S9中侧面喷淋均由泵浦控制喷淋压力。

8.一种权利要求1-8任一种整版铜电镀VCP工艺作为整板电镀的应用。