[发明专利]柔性基板、其制作方法、显示基板及显示装置在审
申请号: | 202210303712.5 | 申请日: | 2022-03-24 |
公开(公告)号: | CN114695794A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 王和金 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L27/32;B32B27/28;B32B33/00;B32B27/06;B32B15/08;B32B15/00;B32B9/04;B32B9/02;B32B7/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 刘红彬 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 制作方法 显示 显示装置 | ||
1.一种柔性基板,其中,包括:
聚酰亚胺层;
水汽清除层,层叠设置在所述聚酰亚胺层的至少一侧,所述水汽清除层的材料为无色透明材料,所述水汽清除层用于去除形成所述聚酰亚胺层的过程中产生的水汽。
2.如权利要求1所述的柔性基板,其中,还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层,所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层与所述阻隔层之间。
3.如权利要求1所述的柔性基板,其中,还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层,所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层的一侧。
4.如权利要求1所述的柔性基板,其中,还包括与所述聚酰亚胺层层叠设置的阻隔层,所述水汽清除层同时位于所述聚酰亚胺层与所述阻隔层之间、以及所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层的一侧。
5.如权利要求1~4任一项所述的柔性基板,其中,所述水汽清除层的材料包括吸水材料和/或水汽扩散材料。
6.如权利要求5所述的柔性基板,其中,还包括:位于所述水汽清除层远离所述聚酰亚胺层一侧的氢气吸附层。
7.如权利要求2~4、6任一项所述的柔性基板,还包括:位于所述聚酰亚胺层远离所述阻隔层一侧的剥离层,所述剥离层位于所述柔性基板的最外侧。
8.如权利要求2~4、6任一项所述的柔性基板,其中,所述聚酰亚胺层包括第一聚酰亚胺层和第二聚酰亚胺层,所述阻隔层包括第一阻隔层和第二阻隔层,其中,所述第一阻隔层位于所述第一聚酰亚胺层与所述第二聚酰亚胺层之间,所述第二阻隔层位于所述第二聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层的一侧。
9.如权利要求8所述的柔性基板,其中,还包括:位于所述第二聚酰亚胺层与所述第一阻隔层之间的第一粘附层。
10.如权利要求8所述的柔性基板,其中,所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层的材料均包括偶联改性剂;
所述柔性基板还包括:位于所述第一聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层一侧的剥离层,所述剥离层位于所述柔性基板的最外侧。
11.如权利要求8所述的柔性基板,其中,所述第二聚酰亚胺层的材料包括偶联改性剂、以及所述第一聚酰亚胺层的材料。
12.如权利要求11所述的柔性基板,其中,还包括位于所述第一聚酰亚胺层远离所述第一阻隔层一侧的第二粘附层。
13.一种如权利要求1~12任一项所述柔性基板的制作方法,其中,包括:
提供一个玻璃基板;
在所述玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层,其中,所述水汽清除层位于所述聚酰亚胺层的至少一侧;
去除所述玻璃基板,获得包括所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板。
14.如权利要求13所述的制作方法,其中,在提供一个玻璃基板之后,且在所述玻璃基板上形成层叠设置的聚酰亚胺层和水汽清除层之前,还包括:在所述玻璃基板上依次形成金属层和剥离层。
15.如权利要求14所述的制作方法,其中,所述金属层的材料为镍,所述剥离层的材料为氧化硅;去除所述玻璃基板,获得包括所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板,具体包括:
采用水使所述金属层与所述剥离层发生界面分离,获得包括所述剥离层、所述聚酰亚胺层和所述水汽清除层的柔性基板。
16.一种显示基板,其中,包括如权利要求1~12任一项所述的柔性基板。
17.一种显示装置,其中,包括如权利要求16所述的显示基板。
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