[发明专利]气体粉尘捕集装置

说明书

本发明提供一种气体粉尘捕集装置，包括过滤封闭容器，其由下向上依次包括：粉尘收集区、气体入口分配区、粉尘捕集区及气体排放区；粉尘收集区与气体入口分配区之间设置有带倾斜度的遮挡板；粉尘收集区所在过滤封闭容器器壁设置有粉尘排放口；气体入口分配区所在过滤封闭容器器壁设置有气体入口；粉尘捕集区内设置有粉尘捕集罐，粉尘捕集罐中设置有粉尘捕集过滤器；粉尘过滤捕集器包括至少一层粉尘过滤捕集层，粉尘过滤捕集层由若干倾斜过滤板依次排布形成；气体排放区所在过滤封闭容器器壁设置有气体排放出口。该装置可以延长终端精细过滤器的使用寿命，维护保养方便，同时减少废弃滤芯作为耗材对环境的污染。

技术领域

本发明涉及半导体设备制造技术领域，特别是涉及一种气体粉尘捕集装置。

背景技术

在一些半导体设备尤其是大规模生产用MOCVD(英文为Metal Organic ChemicalVapor Deposition，金属有机化学气相沉积系统)设备中，反应腔工作时排放的气体都含带有反应气体的副产物，表现为高温粉尘颗粒物，而这些粉尘颗粒物会严重损伤真空抽气设备，故气体进入真空抽气设备前必须对气体中含有的粉尘颗粒物进行处理。

目前常用的处理方法是采用过滤器的方式，多数是利用滤芯对气体粉尘完全隔离后再进入真空抽气设备。采用过滤器方式无论是使用金属材质滤芯还是其他材质的精细滤芯，在使用中都必须考虑过滤面积，以防因粉尘物的堵塞而影响气体的流导通畅，若过滤面积小，则需要经常停机拆除更换滤芯；若过滤面积越大，相应正常生产的周期时间越长，有利于生产的持续进行，但过大也会增加真空抽气设备的工作负担。同时，维护时粉尘的排放不方便，滤芯必须全部拆除，除金属滤芯外，更换下来的精细滤芯基本不能二次使用，对环境带来污染影响且增加成本。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种气体粉尘捕集装置，用于优化改善现有技术中半导体设备中采用过滤器方式过滤尾气中的高温粉尘颗粒物时，滤芯容易堵塞影响气体的流导，导致过滤器的使用周期较短，以及更换下来的精细滤芯不能二次使用，对环境带来污染且增加设备成本等的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种气体粉尘捕集装置，包括过滤封闭容器，所述过滤封闭容器由下向上依次包括：粉尘收集区、气体入口分配区、粉尘捕集区及气体排放区；

所述粉尘收集区与所述气体入口分配区之间设置有带倾斜度的遮挡板，以将所述粉尘收集区与所述气体入口分配区隔离，并将上部掉落的粉尘引导至所述粉尘收集区；

所述粉尘收集区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有粉尘排放口；

所述气体入口分配区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体入口；

所述粉尘捕集区内设置有粉尘捕集罐，所述粉尘捕集罐中设置有粉尘过滤捕集器，所述粉尘过滤捕集器产生的气体流导大于从所述气体入口管路的气体流导；

所述粉尘过滤捕集器包括至少一层粉尘过滤捕集层，且所述粉尘过滤捕集层由若干倾斜过滤板依次排布形成，相邻两所述过滤板之间间隙设置；

所述气体排放区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体排放出口。

可选地，所述过滤板为片状过滤板或环状过滤板；当所述过滤板为片状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次排列形成；当所述过滤板为环状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次嵌套形成。

可选地，所述气体入口分配区设置有环形的气体分配板，以对从所述气体入口进入的气体进行二次分配，且进行二次分配后的气体流导大于从所述气体入口进入的气体流导。

可选地，所述气体排放区设置有阻隔板，且所述阻隔板位于所述气体排放出口的下方；所述粉尘排放口设置于所述粉尘收集区所在的所述过滤封闭容器器壁的最底部。