[发明专利]一种碲锌镉单晶圆片制备工艺

权利要求书

1.一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：按照化学计量比将满足Cd_1-xZn_xTe的纯度镉、锌、碲原料配比、称重后依次装入石英管内，抽真空并充入保护气后封闭石英管，随后加热熔融得到多晶棒；

步骤二：按照化学计量比将满足Cd_1-xZn_xTe的纯度镉、锌、碲原料配比、称重装入另一石英管内，再加入原料质量百分数为10％-100％的Te，抽真空并充入保护气后封闭石英管，随后加热熔融得到富碲合金；

步骤三：另取一个石英管，在其内部放入籽晶，再依次放入上述得到的多晶棒、富碲合金，抽真空并充入保护气后封闭石英管；

步骤四：对步骤三的石英管中放置富碲合金的区域施加不超过1000℃的高温，使富碲合金完全熔融成为饱和溶液；继续保温5-100h后以0.02-2mm/h的速度朝向籽晶一侧移动热源，直至热源高度低于步骤三的步骤三的最低端为止，同时待多晶棒与熔融的富碲合金熔体脱离后，以0.001-1mm/min的速度向上提拉多晶棒；

步骤五：降温，得到碲锌镉单晶晶棒；

步骤六：对得到的碲锌镉单晶晶棒经切片、腐蚀、抛光和清洗处理，即得到所述碲锌镉单晶圆片。

2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，步骤一和步骤二中x的范围为0.01-0.95。

3.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，步骤一和步骤二中镉、锌、碲原料的纯度不低于99.999999％。

4.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，所述步骤一、所述步骤二以及所述步骤三中还包括抽真空检测，抽真空过程中进行真空度检测，当石英管内气压低于1.0×10-4Pa后再进行封闭石英管操作。

5.根据权利要求1或4所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，所述步骤一、所述步骤二以及所述步骤三中在进行封闭石英管以后需要进行检漏，检漏合格以后才可以进行加热处理。

6.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，所述保护气为惰性气体。

7.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，在进行步骤四时，步骤三的石英管始终放置在温度为300-800℃的整体环境中。

8.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，所述籽晶的成分与所述多晶棒的成分相同。

9.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，步骤一和步骤二采用摇摆炉进行加热熔融。

10.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，其特征在于，步骤四中石英管应进行振动旋转。