[发明专利]一种双载流子MoS2有效

专利信息
申请号: 202210311623.5 申请日: 2022-03-28
公开(公告)号: CN114823971B 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 单玉凤;朱家旗;殷子薇;邓惠勇;戴宁 申请(专利权)人: 国科大杭州高等研究院
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;C01G39/06
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 章蔚强
地址: 310012 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 载流子 mos base sub
【权利要求书】:

1.一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1,制备过热态溶剂,通过将装有溶剂且带磨口塞的容器置于恒温烘箱中获得;

步骤2,利用干法剥离或CVD法制备少层或单层MoS2

步骤3,将MoS2生长或转移至无机衬底上作为待处理片;

步骤4,将待处理片置于装有溶剂且带磨口塞的容器中,将容器放于一定温度的所述恒温烘箱中放置一段时间,所述恒温烘箱的温度超过溶剂的沸点,并且所述恒温烘箱的温度不超过溶剂沸点2倍;

步骤5,取出待处理片得到双载流子MoS2二维材料。

2.根据权利要求1所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,步骤1中的溶剂为过热态丙酮、过热态乙醇、过热态水、过热态异丙醇、过热态N-甲基吡咯烷酮溶剂中的一种或多种的混合。

3.根据权利要求1所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,步骤2中,MoS2层数不超过50层。

4.根据权利要求3所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,步骤2中,MoS2层数不超过10层。

5.根据权利要求1所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,无机衬底为SiO2、Si、Al2O3、Si、SiN、GaN、AlN或ZnO中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,步骤4中容器放入一定温度的恒温烘箱中的处理时间大于10分钟,不超过10小时。

7.根据权利要求6所述的一种双载流子MoS2二维材料的制备方法,其特征在于,步骤4中容器放入一定温度的恒温烘箱中的处理时间不超过2小时。

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