[发明专利]一种CVD背板密封燕尾槽铣削加工方法

说明书

本发明公开了一种CVD背板密封燕尾槽铣削加工方法，将截面形状和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀替换至开粗燕尾刀和精加工燕尾刀，解决加工时产生的铝屑的排出难题，避免铝屑排不出挤压刀具至刀具断裂、发生产品过切，挤压加工后的表面凹凸不平，燕尾槽表面粗糙度偏高导致密封条极易磨损等现象，提升密封效果。

技术领域

本发明属于机械加工技术领域，尤其涉及一种CVD背板密封燕尾槽铣削加工方法。

背景技术

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

随着市场对液晶显示器需求的增长，相关生产设备的需求也随之增长。而背板正是CVD机台的一个核心部件。在生产过程中，清洁气体通过背板进入反应室，扩散到整个腔室。而腔室的密封是通过背板背面台阶一圈燕尾槽安装O型圈后与CVD机台紧固后达到密封效果。为了防止O型圈在使用过程中脱落导致气体泄漏，腔室气流异常，最终结果导致产品报废。

传统加工方法存在以下问题：背板密封燕尾槽形状上窄下宽，上部最小宽度为5mm左右，底部最大宽度为8mm左右。传统的加工方法是先使用3-7mm的立铣刀在背板密封燕尾槽端面方向用底刃以螺旋下降的方式加工出直径和背板密封燕尾槽底部最大宽度的下刀孔，再使用截面形状和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀在下刀孔下刀，采用轮廓铣削的方式依据背板密封燕尾槽中心线直接成型，但由于背板密封燕尾槽形状上窄下宽的特性，使用截面形状和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀在加工时产生的铝屑的排出是一大难题，所以加工过程中很容易发生铝屑排不出挤压刀具至刀具断裂、挤压加工后的表面至表面凹凸不平，随后导致达不到密封效果，而且和背板密封燕尾槽底部最大宽度的下刀孔出会影响密封效果，最后导致产品报废，刀具、原材料成本上升，浪费了大量的时间和成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种解决加工时产生的铝屑的排出难题，避免铝屑排不出挤压刀具至刀具断裂、发生产品过切，挤压加工后的表面凹凸不平，燕尾槽表面粗糙度偏高导致密封条极易磨损等现象，提升密封效果的CVD背板密封燕尾槽铣削加工方法。

为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种CVD背板密封燕尾槽铣削加工方法，包括如下步骤：

1)使用3-5mm的立铣刀在背板密封燕尾槽端面方向用底刃以转速6000r/min以上、进给500-1500mm/min螺旋下降的方式加工出直径和精加工燕尾刀直径相同大小的下刀孔到燕尾槽底部，刀具以每圈0.1-0.3mm吃刀量，螺旋的方式接触工件，且加工的孔直径小于燕尾槽底端直径；

2)再次使用3-5mm的立铣刀在下刀孔下刀，采用轮廓铣削的方式用底刃以转速7500r/min以上、进给1000-2000mm/min依据背板密封燕尾槽中心线以每圈0.2-0.5mm吃刀量渐降的方式对燕尾槽进行首次开粗，直至加工至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，加工时使用刀具底刃；

3)使用3-5mm的立铣刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，采用轮廓铣削的方式以转速7500r/min以上、进给800-1500mm/min依据背板密封燕尾槽上部内、外两处外形以每次0.1-0.3mm吃刀量恒定的方式加工侧面进行二次开粗，加工后的宽度为燕尾槽上部外形单边余量0.05mm；

4)使用开粗燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.9mm，采用轮廓铣削的方式以转速8000r/min以上、进给800-1600mm/min依据背板密封燕尾槽上部内、外两处外形以每次0.05-0.15mm吃刀量恒定的方式加工侧面进行半精加工，加工后的燕尾槽上部宽度为燕尾槽上部外形单边余量0.03mm；

5)使用精加工燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，采用轮廓铣削的方式以转速8000r/min以上、进给800-1200mm/min依据背板密封燕尾槽上部内、外两处外形以每次0.03-0.06mm恒定的方式加工侧面进行二次精加工，加工后的燕尾槽上部宽度为燕尾槽上部外形单边余量0.01mm；