[发明专利]一种晶圆检测实时对焦装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，包括：镜头模块、控制器和距离检测模块；其中，镜头模块和距离检测模块相对设置，镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙；

镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像；

距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息，并将起伏变化信息传输到控制器；

控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号；

镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，镜头模块包括运动轴和镜头；其中运动轴正对间隙设置，镜头与运动轴连接；

运动轴用于根据接收到的移动控制信号控制镜头在运动轴上远离或接近晶圆移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，距离检测模块包括距离传感器；

距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的距离，并将得到的距离信息传输到控制器；

控制器根据接收到的距离信息计算所述移动补偿量。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，还包括放置模块，放置模块用于将晶圆固定在镜头模块与距离检测模块之间的间隙中。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，距离检测模块包括距离传感器；

当晶圆为透膜或者半透明时，距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的第一距离，以及透过晶圆得到自身与晶圆正面之间的第二距离，并将得到的第一距离和第二距离信息传输到控制器；

控制器根据接收到的第一距离和/或第二距离信息计算所述移动补偿量。

6.一种基于如权利要求1-5中任一项所述的晶圆检测实时对焦装置的对焦方法，其特征在于，包括：

控制器控制镜头模块和距离检测模块同时移动到晶圆的任意位置进行检测；

在检测的过程中，距离检测模块获取晶圆背面的起伏变化信息，并将起伏变化信息传输到控制器；

控制器根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号；

镜头模块根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测实时对焦方法，其特征在于，控制器根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，包括：

控制器根据接收到的距离检测模块反馈的距离数据，计算距离检测模块与晶圆背面之间的距离变化量，并根据得到的距离变化量得到相应的移动补偿量。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆检测实时对焦方法，其特征在于，当控制器计算得到距离检测模块与晶圆背面之间的距离减少第一长度时，得到的移动补偿量为镜头向晶圆检测表面靠近移动第一长度；

当控制器计算得到距离检测模块与晶圆背面之间的距离增加第二长度时，得到的移动补偿量为镜头向晶圆检测表面远离移动第二长度。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆检测实时对焦方法，其特征在于，控制器根据得到的移动补偿量向镜头模块的运动轴发出相应的控制指令，以使得运动轴控制其上的镜头根据移动补偿量靠近或原理晶圆移动相应的长度距离。