[发明专利]一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器

权利要求书

1.一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器，其特征在于：包括柔性棋盘格式脑电电极、外引线、连接器、无线信号放大器和电池；所述电极与引线连接，将采集到的脑电信号经由连接器和无线信号放大器传输给接收装置；所述连接器安装在用聚碳酸酯包被的陶瓷电路板上，使用牙科丙烯酸将陶瓷电路板固定在距离植入部位不远的颅骨上；所述无线信号放大器置于连接器上；

所述柔性棋盘格式脑电电极为双面电极，按从上到下顺序为第一层柔性绝缘层，第二层金属导电层，第三层柔性衬底层，第四层柔性衬底层，第五层金属导电层与第六层柔性绝缘层；所述柔性衬底层顶端为尖端、细长的长方形结构；在所述柔性衬底层表面溅射金属导电层；在所述金属导电层表面气相沉积柔性绝缘层；同一侧的所述金属导电层需保证间隔布置；两侧的所述金属导电层需保证相互交错布置；金属连接线由侧面伸出，起于金属位点，相互绝缘；所述金属连接线顶端为一束引出，与外引线相连；所述金属连接线从侧面引出。

2.如权利要求1所述的一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器，其特征在于：所述柔性衬底层和柔性绝缘层的材料为聚酰亚胺、聚对二甲苯或SU-8光刻胶的任意一种；该柔性衬底层与柔性绝缘层的材料为同一种；第一层柔性衬底层与第二层柔性衬底层的厚度为1μm～20μm；第一层柔性绝缘层与第二层柔性绝缘层的厚度为100nm～1000nm；所述绝缘层与衬底层较薄，使得所述电极整体尺寸仅为2～40μm。

3.如权利要求2所述的一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器，其特征在于：第一层金属层和第二层金属层的电极触点均为正方形；每个电极触点的面积为100～1000μm²；每个电极的连接线宽度为1～50μm；电极位点数为10～1000个；采用双面电极阵列排布，两个金属层的电极位点错开排列；所述电极位点较多，并且采用双面交错排列的方式。

4.如权利要求2所述的一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器，其特征在于：所述柔性衬底层与金属层之间有粘附层；粘附层所用材料为钛，粘附层的厚度为10nm～100nm。

5.如权利要求2所述的一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器，其特征在于：第一层金属层和第二层金属层的材料为导电性能良好的金属；两层金属层所用材料为同一种；两层金属层的厚度为100nm～1000nm；所述导电性能良好的金属材料包括铂、金、氧化铱。

6.植入式柔性棋盘格式脑电电极的制造方法，用于制造如权利要求1所述的一种用于记录脑电信号的植入式无线神经传感器所用柔性棋盘格式脑电电极，其特征在于：包括如下步骤，

（1）在硅晶片上均匀涂一层牺牲层，烘干；

（2）在步骤（1）处理后得到的硅晶片上气相沉积柔性衬底层材料；

（3）在步骤（2）处理后得到的硅晶片上溅射粘附层金属和金属层金属；

（4）在步骤（3）处理后得到的硅晶片上旋涂一层光刻胶，曝光光致抗蚀剂，获得金属层和电极所需的图案；

（5）去除暴露的金属层区域；除去剩余的光刻胶；

（6）在金属层之上无电极记录位点的区域均匀涂一层柔性绝缘层材料，固化；

（7）腐蚀掉牺牲层，把两个不一样的电极背向粘贴，形成双面电极；

（8）将步骤（7）处理后的电极侧向放置并固定，重复步骤（3）～步骤（6），制备出金属连接线；

（9）将该电极放置于模型中；

（10）注射聚乙二醇溶液，进行固化处理，得到柔性棋盘格式脑电电极。