[发明专利]密封波纹管的漏率检测系统在审
申请号: | 202210318509.5 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN114518204A | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 张新翌;陈景春 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01M3/22 | 分类号: | G01M3/22 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封 波纹管 检测 系统 | ||
1.一种密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,包括:冷却腔室、检测腔室、冷却装置及检测抽气组件;
所述冷却腔室内形成有冷却腔,所述冷却装置与所述冷却腔室连接,用于调节所述冷却腔内的温度;所述冷却腔室上开设有多个连通口,用于与多个所述密封波纹管的承载端密封连接,以使所述冷却腔能与所述密封波纹管的内部空间密封连通;
所述检测腔室内形成有多个容置腔,多个所述容置腔与多个所述连通口一一对应设置,所述容置腔用于容置并限位所述密封波纹管,所述检测腔室的侧壁开设有与所述容置腔对应的通气口,所述通气口用于向所述容置腔内通入检测气体;
所述检测抽气组件与所述冷却腔室连通,所述检测抽气组件用于对所述冷却腔抽真空,并检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量,以判断所述密封波纹管是否发生泄露。
2.如权利要求1所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述冷却腔室包括有冷却腔体及底盖,所述底盖盖合于所述冷却腔室的底部,用于在所述冷却腔体内形成有所述冷却腔,所述底盖上贯穿有多个并列排布的所述连通口。
3.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述检测腔室包括检测腔体及隔板,所述检测腔体盖合于所述底盖的底部,多个所述隔板均设置于所述检测腔体内,并且沿多个所述连通口的排布方向并列排布,用于在所述检测腔体内形成多个所述容置腔。
4.如权利要求3所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述漏率检测系统还包括有多个限位件,多个限位件一一对应的设置于所述容置腔的底部,用于穿过所述检测腔体后与所述密封波纹管的连接端固定连接,以使所述密封波纹管的承载端能顶抵于所述连通口的外周,并且与所述连通口密封连接。
5.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述冷却腔体的侧壁贯穿有冷却口;所述冷却装置包括冷却管路、冷却器及转接组件,所述冷却管路设置于所述冷却腔体内,并且与所述冷却口密封连接;所述冷却器通过所述转接组件与所述冷却口密封连接。
6.如权利要求5所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述转接组件包括有转接法兰、连接管及卡套接头,所述转接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上,以将所述连接管的一端与所述冷却口密封连接;所述连接管的另一端通过所述卡套接头与所述冷却器密封连接。
7.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述检测抽气组件包括检测器、连接法兰及卡箍,所述连接法兰设置于所述冷却腔体的侧壁上,并且与所述冷却腔体密封连接,所述检测器的连通管通过所述卡箍与所述连接法兰密封连接,所述检测器用于检测所述冷却腔内的所述检测气体的含量。
8.如权利要求7所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述检测抽气组件还包括抽真空装置,所述抽真空装置与所述连通管连通,用于对所述冷却腔进行抽真空。
9.如权利要求2所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述冷却腔室还包括有多个连接件,多个连接件沿所述冷却腔体的周向均匀排布,并且穿过所述冷却腔体的侧壁后与所述检测腔体的侧壁顶端连接。
10.如权利要求9所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述冷却腔体的外侧壁上开设有多个均布的安装槽,用于分别容置多个所述连接件,所述安装槽位于所述冷却腔体的顶壁及外侧壁之间,并且为开放式结构。
11.如权利要求7所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述检测器为氦气检测器,所述冷却腔内的所述温度的取值范围为-15℃~-30℃。
12.如权利要求1至11的任一所述的密封波纹管的漏率检测系统,其特征在于,所述漏率检测系统还包括有堵头,所述堵头与所述密封波纹管的规格对应,所述堵头用于封堵与所述容置腔对应的连通口。
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