[发明专利]微悬臂梁光纤加速度传感器机构

权利要求书

1.一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于，包括:

承载机构（1），所述承载机构（1）包括载体（11），所述载体（11）为内部中空且两端开口，所述开口包括第一开口和第二开口；所述载体（11）设有沿第一方向连通第一开口和第二开口的孔道（111）；所述孔道（111）包括安装段（112）和靠近第一开口的空腔段（113）；所述载体（11）在第一开口的一侧的外壁上设有沿第一方向延伸的悬臂（12）；

振动机构（2），所述振动机构（2）设有沿第二方向第一端和沿第一方向的第二端，第一方向与第二方向垂直；所述振动机构（2）的第一端与悬臂（12）顶部固接；所述振动机构（2）第二端为自由端；所述振动机构（2）与载体（11）的第一开口之间设有第一空间；当振动机构（2）产生振动时，第一空间的体积会增大或减小；

第一光学元件（3），所述第一光学元件（3）设有平面的第一面和球形的第二面；所述第一光学元件（3）设于第一空间内，且通过第一面与载体（11）的第一开口的一端固接；

第二光学元件（4），所述第二光学元件（4）包括纤芯（41）以及设于纤芯（41）外部且与其同轴的包层（42）；所述第二光学元件（4）恰能沿第一方向进入安装段（112）。

2.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：

所述振动机构（2）包括：配重（21），所述配重（21）沿第一方向设于第一空间外；所述配重（21）沿第二方向的一侧的中部设有安装孔（211）；振片（22），所述振片（22）沿第一方向设置；所述振片（22）的一端与悬臂（12）固接，且另一端恰能进入安装孔（211）中。

3.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述空腔段（113）的直径大于安装段（112）的半径。

4.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述空腔段（113）和安装段（112）相接部位设有谐振端面（13）；所述设于安装段（112）内的第二光学元件（4）的端面与谐振端面齐平。

5.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述空腔段（113）的深度加上第一光学元件（3）的厚度等于第一光学元件（3）的焦距。

6.根据权利要求2所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述振片（22）于第一空间的一侧镀有第一反射膜（23），且所述第一反射膜（23）反射率大于90%。

7.根据权利要求4所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述谐振端面（13）设有第二反射膜（14），且第二反射膜（14）的反射率大于第二光学元件（4）端面的反射率。

8.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述第一光学元件（3）设有增透膜（31）。

9.根据权利要求1所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述第一光学元件（3）的直径大于空腔段（113）的直径。

10.根据权利要求1或2所述的一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，其特征在于：所述悬臂（12）的长度公式如下：L1≧h1 + ½L2 + 0.5cm

其中，L1为悬臂（12）长度；h1为第一光学元件（3）的厚度；L2为配重（21）第一方向的长度。