[发明专利]用于除尘装置的喷出部及除尘头

说明书

一种用于除尘装置的喷出部(70)，其喷出对除尘对象喷吹的气体，具备：第一构件(71)，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；第二构件(72)，由预定厚度的金属形成为矩形板状，跨长边方向的全长相邻地形成有在短边方向的一端开口的多个缺口(73)；第三构件(80)，由金属形成为矩形板状，且形成有贯通孔(81)，由第一构件与第三构件夹着第二构件接合成一体，在第三构件形成有将贯通孔与多个缺口连通的流道(82)，在多个缺口从开口端(73a)开始的预定范围形成有倾斜部(73b)，倾斜部(73b)越接近开口端使缺口在长边方向上的长度越长。

相关申请的相互参照

本申请以2021年4月6日申请的第2021-064890号申请为基础，该日本申请的记载内容并入本文。

技术领域

本发明涉及用于从曝光用掩模、基板等精密的除尘对象除去灰尘的除尘装置并喷出向除尘对象喷吹的气体的喷出部。

背景技术

以往，在用于这种除尘装置的喷出部中，有从跨长边方向的大致全长的狭缝喷出空气(气体)的用于除尘装置的喷出部(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3975205号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，为了提高喷出的空气的流速，狭缝大多为例如0.1mm这样非常窄的宽度。因此，在专利文献1中记载的用于除尘装置的喷出部中，通过机械加工等跨喷出部的长边方向全长以均匀的宽度形成狭缝是困难的。与此相对，也可以考虑在喷出部的长边方向上将狭缝分割成多个来形成。但是，在该情况下，在狭缝与狭缝之间形成不喷出空气的部分，狭缝与狭缝之间的空气的流动变弱。因此，难以在喷出部的长边方向上均匀地喷出空气。

本公开是为了解决上述问题而做出的，本公开的主要目的在于提供能够容易地在喷出部的长边方向上均匀地喷出气体的用于除尘装置的喷出部。

用于解决问题的手段

用于解决上述问题的第一方案，其是一种用于除尘装置的喷出部，所述用于除尘装置的喷出部用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，喷出对所述除尘对象喷吹的气体，所述用于除尘装置的喷出部具备：

第一构件，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；

第二构件，由预定厚度的金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，跨所述长边方向的全长相邻地形成有在所述短边方向的一端开口的多个缺口；以及

第三构件，由金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且形成有贯通孔，

由所述第一构件与所述第三构件夹着所述第二构件一体地接合，

在所述第三构件形成有流道，所述流道将所述贯通孔与所述多个缺口连通，

在所述多个缺口从开口端开始的预定范围形成有倾斜部，所述倾斜部越接近所述开口端使所述缺口在所述长边方向上的长度越长。

根据上述构成，用于除尘装置的喷出部用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，喷出对所述除尘对象喷吹的气体。第一构件由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状。第二构件由预定厚度的金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，跨所述长边方向的全长相邻地形成有在所述短边方向的一端开口的多个缺口。第三构件由金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且形成有贯通孔。而且，由所述第一构件与所述第三构件夹着所述第二构件一体地接合。