[发明专利]一种用于稳压管制造的扩散工艺及其扩散设备

权利要求书

1.一种用于稳压管制造的扩散工艺，其特征在于，包括以下工作步骤：

步骤一：扩散前处理：采用P型单晶硅片，通过酸、SC3配方清洗工序使硅片厚度达到250um，对硅片表面进行化学处理；

步骤二：磷预扩处理，温度为1090℃，时间为120min；

步骤三：背面化腐，对硅片的正面匀胶保护，使得硅片的背面化腐到220um；

步骤四：背面补硼，在硅片的背面涂布硼源，温度为1100℃，时间为120min，以此实现硅片表面VF降低的效果；

步骤五：磷主扩处理，使用设定的高温流程对硅片进行推结处理；

步骤六：沟槽光刻，根据稳压管额定功率选择合适的尺寸，在硅片的表面进行沟槽的光刻处理；

步骤七：电泳钝化，沟槽内电泳上玻璃作为钝化层；

步骤八：金属光刻，在硅片表面蒸发TI、NI、AG三种金属中的一种或两种或三种，通过金属光刻工艺刻出所需的焊接电极。

2.根据权利要求1所述的一种用于稳压管制造的扩散工艺，其特征在于，该工艺使用一种用于稳压管制造的扩散设备，包括处理框(1)和放置框(5)，所述处理框(1)的放置有放置框(5)，所述放置框(5)的内壁安装有限位框(502)，所述限位框(502)的底部安装有网板(501)，所述处理框(1)的内壁安装有气囊板(503)，且气囊板(502)位于限位框(502)的下方，所述气囊板(503)的内部设有6*10布置的囊袋，且囊袋的内部密封存放有清水和油液的混合液。

3.根据权利要求2所述的一种用于稳压管制造的扩散设备，其特征在于：所述放置框(5)的两侧表面均设有对称布置的嵌合槽(401)，所述放置框(5)的两侧表面通过嵌合槽(401)嵌合安装有连接支撑架(4)。

4.根据权利要求3所述的一种用于稳压管制造的扩散设备，其特征在于：所述处理框(1)的内部设有放置腔(101)，所述放置腔(101)的内顶部安装有两组相对布置的限位盘(901)，两组所述限位盘(901)相互靠近的表面安装有滑杆(9)，所述滑杆(9)的表面滑动套接有套环(902)。

5.根据权利要求4所述的一种用于稳压管制造的扩散设备，其特征在于：所述放置腔(101)的内部安装有隔热调节系统(2)，所述隔热调节系统(2)包括有一号伺服电机(201)、一号牵引绳(202)、滑动环(203)、二号牵引绳(204)、隔温棉毡(205)、固定环(206)和二号伺服电机(207)，所述隔温棉毡(205)的内部设有通孔，所述通孔的内部安装有滑动环(203)和固定环(206)，且固定环(206)和滑动环(203)分别位于套环(902)的两侧，所述滑动环(203)滑动套接于滑杆(9)的表面，所述固定环(206)固定套接于滑杆(9)的表面，所述滑动环(203)的两侧表面分别连接有一号牵引绳(202)和二号牵引绳(204)，所述处理框(1)的两侧表面分别安装有一号伺服电机(201)和二号伺服电机(207)，所述一号伺服电机(201)和二号伺服电机(207)的输出端均连接有圆杆，一号伺服电机(201)输出端连接所述圆杆的表面与一号牵引绳(202)的尾端连接，二号伺服电机(207)输出端连接所述圆杆的表面与二号牵引绳(204)的尾端连接。

6.根据权利要求2所述的一种用于稳压管制造的扩散设备，其特征在于：所述处理框(1)的内部安装有加热层(102)，且加热层(102)位于放置腔(101)远离放置框(5)的表面。

7.根据权利要求2所述的一种用于稳压管制造的扩散设备，其特征在于：所述处理框(1)的一侧外表面安装有显示屏(3)和红外测温仪(6)，且红外测温仪(6)位于显示屏(3)的后方，所述显示屏(3)与红外测温仪(6)电性连接。