[发明专利]芯片分选装置、设备及方法

权利要求书

1.一种芯片分选装置，其特征在于，所述芯片分选装置包括：

工作台，所述工作台用于承载和处理晶圆；

下料机构，所述下料机构用于存储芯片；及

分选机构，所述分选机构包括移动组件、第一感应器、以及第二感应器，所述第一感应器与所述工作台对位设置，并用于指导所述移动组件从经过处理的所述晶圆中拾取芯片；所述第二感应器与所述下料机构对位设置，并用于指导所述移动组件将被拾取的芯片放置到所述下料机构。

2.根据权利要求1所述的芯片分选装置，其特征在于，所述移动组件包括摆臂和第一驱动器，所述摆臂上设有吸嘴，所述第一驱动器用于驱使所述摆臂运动，以至少使所述吸嘴拾取所述晶圆中的芯片；或者，将所述吸嘴上的晶圆放置到所述下料机构。

3.根据权利要求2所述的芯片分选装置，其特征在于，多个所述吸嘴间隔设置在所述摆臂上，多个所述吸嘴用于从位于所述工作台的晶圆中拾取对应位置上的芯片。

4.根据权利要求3所述的芯片分选装置，其特征在于，所述分选机构还包括真空罐，所述真空罐与所述吸嘴气路导通。

5.根据权利要求1所述的芯片分选装置，其特征在于，所述工作台设有旋转模组、第一移动模组以及第二移动模组，所述旋转模组用于带动所述晶圆旋转并完成扩晶动作，所述第一模组用于驱使所述旋转模组沿第一方向移动，所述第二模组用于驱使所述第一模组沿第二方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

6.一种芯片分选设备，其特征在于，所述芯片分选设备包括机架，以及放置在所述机架上的上料装置、传输装置和上述权利要求1-5任意一项所述的芯片分选装置，所述上料装置用于存储晶圆，所述传输装置用于将位于所述上料装置中的晶圆传输至所述工作台。

7.根据权利要求6所述的芯片分选设备，其特征在于，所述上料装置包括存储仓、扫描器和第二驱动器，所述存储仓内用于供多个所述晶圆叠放，所述扫描器设于所述存储仓的开口处，并用于扫读所述晶圆的信息，所述第二驱动器连接于所述存储仓的侧面，并用于驱使所述晶圆在所述存储仓内移动。

8.根据权利要求7所述的芯片分选设备，其特征在于，所述上料装置还包括导向杆，所述导向杆连接在所述存储仓的开口处，并用于引导所述晶圆从所述存储仓进入所述传输装置。

9.根据权利要求6所述的芯片分选设备，其特征在于，所述传输装置包括夹持件和移动模组，所述夹持件连接于所述移动模组，并能沿所述移动模组的长度方向移动，所述夹持件用于从所述存储仓内夹取所述晶圆，并将所述晶圆移动至所述工作台。

10.一种芯片分选方法，适用于权利要求5-9任意一项所述的芯片分选装置，其特征在于，包括以下步骤：

向上料装置中提供晶圆；

启动传输装置，将位于所述上料装置中的晶圆移动至工作台；

启动工作台，处理位于所述工作台上的晶圆，以使所述晶圆中的芯片相互分离；

启动分选机构，在第一感应器引导下，驱使移动组件从所述工作台上的晶圆中拾取芯片；

在第二感应器引导下，驱使移动组件将拾取的所述芯片移动至下料机构所在位置；

驱使移动组件将芯片放置于下料机构。