[发明专利]一种宽度可调的宽带束离子注入机

权利要求书

1.一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，包括：

离子束发生组件，由离子束发生组件产生带状离子束；

离子束分析组件，该离子束分析组件与离子束发生组件配合，由离子束分析组件对离子束发生组件产生的离子束进行分析；

离子束汇聚组件，该离子束汇聚组件与离子束分析组件配合，由离子束汇聚组件对分析后的离子束进行分区汇聚，形成若干相互分离的离子束；

离子束发散组件，该离子束发散组件与离子束汇聚组件配合，由离子束发散组件对分区汇聚后的离子束进行发散，使相邻离子束相互交叠；

离子束调节组件，该离子束调节组件与离子束发散组件配合，由离子束调节组件将离子束发散组件发散后的离子束调节形成平行离子束，并对其宽度进行调节，使离子束照射到基板上。

2.根据权利要求1所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，离子束分析组件包括：

扇形磁铁，该扇形磁铁设有一对，各扇形磁铁分别位于离子束发生组件产生的离子束两侧，对离子束进行分析。

3.根据权利要求1所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，离子束汇聚组件包括：

螺旋线圈，该螺旋线圈设有一组，各螺旋线圈分别沿离子束运动方向延伸，并沿其宽度方向顺次排布，由螺旋线圈对分析后的离子束进行分区汇聚。

4.根据权利要求3所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于：

各螺旋线圈相互串联，并接入同一电源。

5.根据权利要求1或3所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，离子束发散组件包括：

多极子透镜，该多极子透镜设有一组，各多极子透镜分别分别沿离子束运动方向延伸，并沿其宽度方向顺次排布，与螺旋线圈位置对应，由多极子透镜对螺旋线圈汇聚后的离子束进行发散。

6.根据权利要求5所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，多极子透镜包括：

支撑筒体，该支撑筒体的圆心与螺旋线圈的离子束汇聚点重合；

电磁铁，该电磁铁设有一组，各电磁铁分别在支撑筒体上对称排布。

7.根据权利要求6所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于：

各电磁铁分别接入独立可调节电源。

8.根据权利要求5所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于，离子束调节组件包括：

分离狭缝，该分离狭缝设有一组，并沿发散后的离子束的宽度方向顺次排布；

四重极子，该四重极子设有一组，并分别与分离狭缝位置对应，各四重极子分别安装于导向滑轨上。

9.根据权利要求8所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于：

各四重极子分别与独立的步进电机配合，由步进电机分别带动四重极子移动到不同位置。

10.根据权利要求8所述的一种宽度可调的宽带束离子注入机，其特征在于：

各四重极子分别包括一对电磁铁，各电磁铁分别接入独立可调节电源。