[发明专利]籽晶的提拉机构及其使用方法

说明书

本发明公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法，所述提拉机构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位组件，限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个，每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧，限位组件构造成能够升降和绕软轴的旋转轴线旋转；其中，限位组件包括限位件，限位件具有可切换的伸出位置和回缩位置，在伸出位置限位件与籽晶夹之间的距离为第一距离，在回缩位置限位件与籽晶夹之间的距离为第二距离，第二距离大于第一距离，限位组件能够在籽晶夹晃动时将限位件伸至伸出位置。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。

技术领域

本发明涉及单晶生长技术领域，具体涉及一种籽晶的提拉机构及其使用方法。

背景技术

在直拉单晶制造法(CZ法)的单晶生长中，利用提拉机构和籽晶夹将籽晶浸渍于坩埚内所积存的原料熔汤中，并利用提拉机构将所浸渍的籽晶缓慢提拉，通过这种方式可以于籽晶的下方生长出单晶晶体。

相关技术中，提拉机构为软轴(如钼丝绳)，利用软轴的牵拉，可以实现籽晶夹的旋转和升降，以带动籽晶进行旋转和升降。但是，在旋转或升降过程中，容易出现籽晶的晃动，而且无法快速稳定，影响单晶的生长。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种籽晶的提拉机构，所述提拉机构在旋转和升降籽晶夹的过程中，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。

本发明还旨在提出一种籽晶的提拉机构的使用方法。

根据本发明实施例的籽晶的提拉机构，包括：籽晶夹，所述籽晶夹用于固定籽晶；软轴，所述软轴下端连接所述籽晶夹，所述软轴构造成能够牵引所述籽晶夹旋转和升降；限位组件，所述限位组件为一个或环绕所述籽晶夹分布的多个，每个所述限位组件位于所述籽晶夹的水平一侧，所述限位组件构造成能够升降和绕所述软轴的旋转轴线旋转；其中，所述限位组件包括限位件，所述限位件具有可切换的伸出位置和回缩位置，在所述伸出位置所述限位件与所述籽晶夹之间的距离为第一距离，在所述回缩位置所述限位件与所述籽晶夹之间的距离为第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述限位组件能够在所述籽晶夹晃动时将所述限位件伸至所述伸出位置。

根据本发明实施例的提拉机构，当软轴牵引籽晶夹旋转和升降时，限位组件可同时升降和绕软轴的旋转轴线旋转，使限位组件和籽晶夹保持相对静止。当籽晶夹未出现晃动或者晃动幅度较小而不影响结晶生长时，限位件处于回缩位置，限位件与籽晶夹之间保持第二距离，保持限位件与籽晶夹间隔开。当籽晶夹出现一定幅度的晃动时，限位件伸至伸出位置，限位件与籽晶夹之间处于第一距离，此时限位件与籽晶夹的外壁间距较小或限位件与籽晶夹的外壁相抵，在限位件的作用下，能够实现对籽晶夹晃动的快速稳定，减少对晶棒生长过程的影响。

在一些实施例中，所述籽晶的提拉结构还包括：硬轴，所述硬轴设置在所述籽晶夹的水平一侧或者套在所述籽晶夹的外侧，所述限位组件安装在所述硬轴上。所述硬轴构造成能够绕所述软轴的旋转轴线旋转，所述限位组件可升降地安装在所述硬轴上。

进一步地，所述硬轴套在所述籽晶夹的外侧，所述硬轴的内壁上设有竖向设置的升降槽，所述限位组件包括滑座，所述滑座可上下滑动地配合在所述升降槽内。

在一些实施例中，所述限位件为限位柱，所述限位组件还包括：推动件，所述推动件的输出轴与所述限位柱的一端相连，所述限位柱的另一端朝向所述籽晶夹设置。

在一些实施例中，所述限位件还具有与所述籽晶夹连接的固定位置，所述限位组件构造成在判定条件下，将所述限位件驱动至所述固定位置以与所述籽晶夹同步运动。