[发明专利]一种干膜抗蚀剂、感光干膜和覆铜板

权利要求书

1.一种干膜抗蚀剂，其特征在于，包括碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂和铜络合物，所述铜络合物中与铜形成络合物的化合物包括有氮杂环化合物，所述光聚合单体中含有EO链段和PO链段，所述EO链段表示氧亚乙基，所述PO链段表示氧亚丙基。

2.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述铜络合物中与铜形成络合物的化合物同时含有氮杂环和巯基，优选所述铜络合物中与铜形成络合物的化合物具有结构式I或II所示的结构的任意一种或者多种，

所述结构式I或II中，X为1～3个碳原子，或者1～2个氮原子，或者一个碳原子与一个氮原子，碳原子和/或氮原子由单键或者双键结连接；Y选自氧原子、硫原子、碳原子、氮原子中的一种或者多种，所述X、所述Y和-C＝NH-形成的环上的氢原子可以被羧基、氨基、C₁～C₁₂的烷基、C₁～C₁₂的烷氧基、C₆～C₁₂的芳香基、肼基中的任意一种或者多种取代；M选自单键、C₁～C₁₂的烷基、C₁～C₁₂的酯基或者C₂～C₁₂的醚基；

所述结构式II中，X、Y、Z所组成的环为苯环或者杂环，苯环和所述杂环上可以带有C₁～C₆烷基、C₁～C₆的烷氧基、氨基、羧酸、硝基和卤素中的任意一种或者多种；

进一步优选，所述铜络合物中与铜形成络合物的化合物选自巯基嘧啶、4,6-二氨基-2-巯基嘧啶、巯基咪唑、巯基苯并咪唑、2-巯基-5-羧基苯并咪唑、2-巯基-5-硝基苯并咪唑、2-巯基-5-氨基苯并咪唑、2-巯基苯并咪唑-4-甲酸、巯基苯并噻唑、3-巯基吲哚、1,3,5-三(巯乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-三酮、巯基嘌呤、6-硫鸟嘌呤、三聚硫氰酸、2,6-二巯基嘌呤、4-硫脲嘧啶、2-巯基苯并噁唑、4,6-二氨基-2,6-巯基嘧啶、4-硫脲尿嘧啶、2-巯基-4-羟基-5,6-二氨基嘧啶、4,6-二甲基-2-巯基嘧啶、二硫代脲、2-巯基吡嗪、3,6-二巯基哒嗪、2-巯基咪唑、2-巯基噻唑、8-巯基腺嘌呤、4-硫尿嘧啶、巯基三氮唑、3-巯基-1,2,4-三氮唑二巯基化物、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三氮唑、4-甲基-4H-3-巯基-1,2,4-三氮唑、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三氮唑、3-巯基-1,2,4-三氮唑、6,7-二氢-6-巯基-5H-吡唑并[1,2-α][1,2,4]三氮氯化物、4-氨基-3-肼基-5-巯基-1,2,4-三氮唑、1-甲基-5-巯基-1H-四氮唑、1-羟乙基-5-巯基-1H-四氮唑、1-(2-二甲基氨基乙基)-1H-5-巯基-四氮唑、1-苯基-5-巯基四氮唑、1,2-二氢-1-(4-甲氧基苯基)-5H-四氮-5-硫酮、1-乙基-5-巯基-1,2,3,4-四氮唑、5-巯基-H-四氮唑-1-乙酸、5-巯基-1,2,3,4-四氮唑-1-甲基磺酸、1-(3-乙酰胺基)苯基-5-巯基四氮唑、1-(4-羟基苯基)-5-巯基四氮唑、1-(4-乙氧基苯基)-1,2-二氢-5H-四唑-5-硫酮、1-(4-羧苯基)-5-巯基-1H-四唑和4-氨基-2-巯基嘧啶中的任意一种或者多种。

3.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，以重量份计，所述干膜抗蚀剂包含碱可溶性树脂40～65重量份，光聚合单体35～60重量份，光引发剂2.0～4.5重量份和铜络合物0.01～0.5重量份。