[发明专利]一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法在审
| 申请号： | 202210358465.9 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114755457A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 肖光宗;邝腾芳;熊威;韩翔;陈鑫麟;安辉;罗晖 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 长沙正务联合知识产权代理事务所(普通合伙) 43252 | 代理人： | 郑隽;吴婷 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 在线 测量 悬浮 加速度 传感器 标度 因数 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，搭建光镊系统捕获微粒：采用捕获激光、聚光透镜搭建光镊系统，构建三维光学势阱；装载微粒进入光学势阱区域，实现光镊系统捕获微粒；
步骤二，获取微粒的位移信息；
步骤三，获取微粒的谐振频率Ω：对微粒任意维度的位移信息进行傅里叶变换，得到微粒该维度位移信息的频谱分布，并获取微粒的谐振频率Ω；
步骤四，计算标度因数Q：通过计算微粒的谐振频率的平方得到标度因数，即Q＝Ω2。
2.根据权利要求1所述的一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法，其特征在于，步骤二中所述获取微粒的位移信息采用位移探测器测量微粒的散射光来实现。
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