[发明专利]一种射频电源驱动方法及相关设备

说明书

发明公开了一种射频电源驱动方法及相关设备。该方法包括：基于当前的通讯方案，调用与射频电源的通用功能或者特定功能对应的驱动指令；基于所述驱动指令，驱动所述射频电源进行工作；所述通讯方案为射频电源与上位机的通信方案，该通讯方案为TCP/IP、RS232/485、PLC方案中的至少一种，所述通用功能为所有不同类型的射频电源均具有的相同功能，所述特定功能为单个射频电源具有的与其它所有射频电源均不相同的功能。本申请实施例为射频电源驱动提供一种统一的编程方法和模型，可以适配不同厂家及型号的射频电源。为上位机与不同型号的射频电源之间提供了一种更为灵活的驱动方案。

技术领域

本说明书涉及射频电源领域，更具体地说，本发明涉及一种射频电源驱动方法及相关设备。

背景技术

在半导体相关的行业中，射频电源是一种在不同工艺下(CVD，ETCH等)经常会使用的关键设备。随着半导体电路的模式走向细微化和三维立体化，工艺变得非常复杂，射频电源趋向多种频率(2MHz、3.2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz)、多功能(Pulse、变频等)发展。因此，半导体制造设备商在研发不同工艺设备时，会使用到不同厂家提供的不同功能的射频电源设备。而不同厂家的不同设备提供的通讯方式，指令集不尽相同。

现有的设备控制程序通常会为每一种射频电源提供一套单独的设备软体驱动，并通过UI界面给用户提供不同软件功能，程序的控制模式也比较固定。在设备研发过程中或批量生产后，如果射频电源选型变更，经常会需要对应修改设备驱动，并调整UI界面。一方面需要兼容旧设备中使用的射频电源，另一方面需要开发新的射频电源驱动。程序很快会变得臃肿，并难以维护，造成后期大量的维护和开发成本，并最终影响项目的进度及质量。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

为了提供一种适配于不同型号射频电源的控制软件，第一方面，本发明提出一种射频电源驱动方法，用于上位机，上述方法包括：

基于当前的通讯方案，调用与射频电源的通用功能或者特定功能对应的驱动指令；

基于上述驱动指令，驱动上述射频电源进行工作；

上述通讯方案为射频电源与上位机的通信方案，该通讯方案为TCP/IP、RS232/485、PLC方案中的至少一种，上述通用功能为所有不同类型的射频电源均具有的相同功能，上述特定功能为单个射频电源具有的与其它所有射频电源均不相同的功能。

可选的，上述调用与射频电源的通用功能或者特定功能对应的驱动指令之前，上述方法还包括：

基于不同射频电源的厂家和型号，定义射频电源的通用功能和特定功能；

为上述通用功能和特定功能定义分别设置对应的驱动指令；

上述通用功能至少包括创建连接、断开连接、设置输出功率和启用/关闭输出中的至少一种。

可选的，上述方法还包括：

调用显示上述射频电源的一般状态的显示指令；

基于上述显示指令，驱动上述射频电源将其一般状态反馈给上位机；

上述一般状态为不同的射频电源均具有的状态，其至少包括厂家、型号、是否已连接、当前输出功率和反射功率中的至少一种。

可选的，上述方法还包括：

调用显示上述射频电源的独有状态的显示指令；

基于上述显示指令，驱动上述射频电源将其独有状态反馈给上位机；