[发明专利]等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法

权利要求书

1.一种等离子体产生器，用于向至少两个制程室脉冲供应具有至少40KHz频率的电力，所述等离子体产生器包括：

控制单元，其配置为获得及评估有关所述至少两个制程室中的制程的制程数据；

具有输出的可控制的供电，所述可控制的供电配置为在其输出上以响应自所述控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；以及

切换单元，其具有第一输入，所述第一输入与所述供电的所述输出连接，并且具有至少两个切换单元输出，用于各自与所述至少两个制程室中的一个连接；

其中所述切换单元配置为自所述输入上的直流电形成具有预定的至少40KHz的频率的交流电作为输出信号，并且以响应所述控制单元的控制信号的方式，将所述输出信号作为脉冲选择性地在预定的脉冲持续时间内输出至所述切换单元输出中的一个；

其中所述控制单元配置为协调所述至少两个制程室的功率需求，并且驱动所述供电以及所述切换单元以使得在各与所述制程室连接的所述切换单元输出上皆实质上将与所述功率需求对应的功率在一时间段内作为脉冲提供，其中各所述制程室的脉冲在时间上如此相互错开，使得所述制程室能够同步工作；且

其中所述控制单元被配置为使得在所述功率需求会导致不同输出上的脉冲重叠的情况下，将所述脉冲或其部分在时间上相对于所述功率需求偏移，其中对应的时间偏移经选择以使得通过各输出进行的能量输出在所述时间范围内对应于所述功率需求。

2.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其中所述控制单元具有数个与待连接至所述切换单元的制程单元的数目对应的控制器，其中每个所述控制器配置为获得有关所述制程室中的一个中的制程的制程数据，其中每个所述控制器与所述供电和/或所述切换单元连接，从而以响应接收的制程数据的方式控制这些元件。

3.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其还具有至少一电弧抑制单元，所述电弧抑制单元配置为获得并实时评估有关所述至少两个制程室中的制程的当前制程数据以及所述供电和/或所述切换单元的当前数据，用以检测电弧或即将发生的电弧，其中所述电弧抑制单元与所述供电和/或所述切换单元连接，用以响应检测的电弧或即将发生的电弧以控制这些元件，其中所述电弧抑制单元可构成所述控制单元的一部分。

4.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其中所述控制器和/或所述至少一电弧抑制单元建构为独立的软件模块，所述软件模块可在所述等离子体产生器的同一处理器上或不同的处理器上执行。

5.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其中所述切换单元具有至少一第三切换单元输出，其配置为与至少另一制程室或吸收器连接，且其中所述切换单元配置为以响应所述控制单元的输入的控制信号的方式将输出信号作为脉冲选择性地在预定的脉冲持续时间内施加至所述切换单元输出中的一个。

6.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其中所述控制单元被配置为协调各切换单元输出上对由脉冲持续时间与对应的脉冲间隔的总和，使得所述总和皆相同，或使得所述切换单元输出中的一个上的所述总和为另一切换单元输出上的所述总和的数倍。

7.根据权利要求1所述的等离子体产生器，其中所述控制单元还被配置为执行至少一个下列步骤：

在所述功率需求会导致不同输出上的脉冲重叠的情况下，将单一个所述脉冲相对所述功率需求划分成两个分隔的脉冲并在时间上进行偏移，其中对应脉冲的划分及时间偏移经选择以使得通过各输出进行的能量输出在所述时间范围内实质上对应于所述功率需求；以及

在所述功率需求会导致不同输出上的脉冲重叠的情况下，将单一个所述脉冲在时间上相对于所述功率需求偏移，其中对应的时间偏移经选择以使得通过各输出进行的能量输出在所述时间范围内对应于所述功率需求，

在具体功率需求会导致不同输出上的脉冲重叠的情况下，改变所述脉冲的下列参数中的至少一个：脉冲在脉冲序列中的位置、脉冲划分成子脉冲、脉冲持续时间以及脉冲的振幅。