[发明专利]一种偏振器件的自动化测试系统

权利要求书

1.一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，包括：

测试光路总成，用于测试偏振器件的偏振响应和/或相位响应，且具有至少一个光学镜片组、至少一个可调谐激光器模块、至少一个光电探测器和至少一个相机；以及

自动化控制模块，具有至少一个调节机构，用于带动所述至少一个光学镜片组旋转改变光轴取向，并联动所述至少一个可调谐激光器模块和/或至少一个光电探测器和/或至少一个相机。

2.根据权利要求1所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述至少一个光学镜片组包含有：

至少一个起偏器，用于获得偏振态可调、高线偏度的线偏振光；

至少一个检偏器，用于与所述至少一个起偏器的光轴保持平行或正交，组成平行或正交检偏系统；以及

至少一个波片。

3.根据权利要求2所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述波片为四分之一波片。

4.根据权利要求3所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述起偏器包含有半波片和第一线偏振片。

5.根据权利要求4所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述检偏器为第二线偏振片。

6.根据权利要求5所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述测试光路总成还具有至少一个偏振控制器、至少一个准直镜、至少一个第三线偏振片、至少一个透镜组、至少一个分束器和至少一个反射镜。

7.根据权利要求6所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，还包括：

光学4F系统；

其中，所述透镜组通过所述光学4F系统用于改变经过所述准直镜后的光斑大小。

8.根据权利要求6所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述第二线偏振片还被配置为通过所述调节机构移动至所述分束器后面，并与第一线偏振片的光轴取向保持平行作起偏用，致使小角度入射的物光可以通过样品反射后由所述光电探测器采集光功率测量偏振响应。

9.根据权利要求1所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，还包括：

终端；

其中，所述测试光路总成和自动化控制模块均与终端电性连接。

10.根据权利要求1所述的一种偏振器件的自动化测试系统，其特征在于，所述自动化控制模块还包括：电压源。