[发明专利]电子级SF6

说明书

本发明提供了一种电子级SF₆精馏前处理系统，用于将SF₆发生器产生并经过裂解塔裂解的SF₆粗气进行水洗、碱洗、低压吸附以及高压吸附。其包括顺序串联的电子级SF₆水洗装置、电子级SF₆碱洗装置、电子级SF₆低压吸附装置以及电子级SF₆高压吸附装置；所述电子级SF₆低压吸附装置包括多级串联的硅胶低压吸附塔以及多级串联的所述铝胶低压吸附塔；所述电子级SF₆高压吸附装置包括顺序串联的隔膜压缩机、除油器、活性炭高压吸附塔、5A高压吸附塔、铝胶高压吸附塔、13X高压吸附塔以及F03高压吸附塔。在13X、F‑03分子筛前设置铝胶吸附去SF₄，这样不仅可以降低S0₂、SO₂F₂对13X、F‑03分子筛的影响，还可以保证低硫氟化物均可除去。

技术领域

本发明涉及一种电子级SF₆精馏前处理系统。

背景技术

目前，SF₆是新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯SF₆是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂(操作温度－45～0℃之间)。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。

在工业化生产过程一般将氟气和硫蒸气反应制备SF₆。制备的SF₆粗气一般需要经过高温裂解、水洗、碱洗、低压吸附、高压吸附以及精馏等步骤，才能获得电子级的SF₆气体。在精馏前处理过程中，反应副产物低氟化物可先通过水洗碱洗除去一部分，但粗气中微量的低氟化物单靠水洗、碱洗的净化方法难以除去，仍需采取吸附的方式进一步除去低氟化物。然而，吸附可供选择吸附剂种类繁多，过往选择的吸附剂存在配置不合理，造成费用高，效果差的局面。尤其是13X、F-03分子筛，其选择吸附净化次序不合理，使得吸附剂效率降低，吸附能力不能最优化，增加生产成本。

发明内容

本发明提供了一种电子级SF₆精馏前处理系统，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

本发明提供一种电子级SF₆精馏前处理系统，用于将SF₆发生器产生并经过裂解塔裂解的SF₆粗气进行水洗、碱洗、低压吸附以及高压吸附。其包括顺序串联的电子级SF₆水洗装置、电子级SF₆碱洗装置、电子级SF₆低压吸附装置以及电子级SF₆高压吸附装置；

所述电子级SF₆低压吸附装置包括多级串联的硅胶低压吸附塔以及多级串联的所述铝胶低压吸附塔；

所述电子级SF₆高压吸附装置包括顺序串联的隔膜压缩机、除油器、活性炭高压吸附塔、5A高压吸附塔、铝胶高压吸附塔、13X高压吸附塔以及 F03高压吸附塔。

作为进一步改进的，所述活性炭高压吸附塔包括2-3级串联的高压吸附塔；所述5A高压吸附塔包括2-3级串联的高压吸附塔；所述铝胶高压吸附塔包括1-2级串联的高压吸附塔；13X高压吸附塔包括2-3级串联的高压吸附塔；F03高压吸附塔包括4-5级串联的高压吸附塔。