[发明专利]电熔丝结构

权利要求书

1.一种电熔丝结构，包括：

基底；

位于所述基底表面的绝缘层；

位于所述绝缘层表面的电熔丝，所述电熔丝包含第一电极、第二电极以及连接所述第一电极与所述第二电极的多条连接熔丝，多条所述连接熔丝并联于所述第一电极与所述第二电极之间。

2.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述电熔丝包含两条相并联的所述连接熔丝。

3.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，每条所述连接熔丝中间部分区域的宽度小于所述连接熔丝其它区域的宽度。

4.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述连接熔丝包含相连接的第一连接熔丝、第二连接熔丝与第三连接熔丝，所述第一连接熔丝与所述第二连接熔丝相互平行且相对设置，所述第三连接熔丝连接所述第一连接熔丝与第二连接熔丝构成之字型结构，其中所述第三连接熔丝的宽度小于所述第一连接熔丝的宽度，且所述第三连接熔丝的宽度小于所述第二连接熔丝的宽度。

5.如权利要求4所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第一连接熔丝的宽度等于所述第二连接熔丝的宽度；所述第三连接熔丝的长度小于所述第一连接熔丝的长度，且所述第三连接熔丝的长度小于所述第二连接熔丝的长度。

6.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述连接熔丝包含相连接的第一连接熔丝、第二连接熔丝与第三连接熔丝，所述第一连接熔丝与所述第二连接熔丝间隔设置在同一直线上，所述第三连接熔丝连接所述第一连接熔丝与所述第二连接熔丝，且所述第三连接熔丝的宽度从两侧连接端开始至中间区域不断减小。

7.如权利要求6所述的电熔丝结构，其特征在于，所述第三连接熔丝的长度小于所述第一连接熔丝的长度，且所述第三连接熔丝的长度小于所述第二连接熔丝的长度。

8.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述连接熔丝的材质为金属、多晶硅或金属硅化物。

9.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述电熔丝结构还包括：

位于所述电熔丝表面的层间介质层；以及，

贯穿所述层间介质层且暴露所述第一电极与所述第二电极表面的接触孔。

10.如权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于，所述连接熔丝的长度是宽度的5~10倍。