[发明专利]护膜、曝光方法及平板显示器用屏的制造方法在审
申请号: | 202210376691.X | 申请日: | 2022-04-12 |
公开(公告)号: | CN115202148A | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 関原一敏 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F1/48 | 分类号: | G03F1/48 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 宋兴;臧建明 |
地址: | 日本东京千代田区丸之内一*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 护膜 曝光 方法 平板 显示 器用 制造 | ||
1.一种护膜,包括至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一个框状面的护膜膜片而构成,且所述护膜的特征在于,
对于护膜膜片,在与相互平行且为线对称的一对护膜框边平行的方向赋予有1%以上且2.5%以下的拉伸应变。
2.根据权利要求1所述的护膜,其特征在于,
对于护膜膜片,在与所述一对护膜框边垂直的方向赋予有0.5%以上且2%以下的拉伸应变。
3.根据权利要求1所述的护膜,其特征在于,
所述护膜框为矩形,所述一对护膜框边为所述矩形的长边。
4.根据权利要求3所述的护膜,其特征在于,
对于护膜膜片,在与所述矩形的长边垂直的方向赋予有0.5%以上且2%以下的拉伸应变。
5.根据权利要求3或4所述的护膜,其特征在于,
将粗细度最大为100μm的至少一条线状补强体接合于所述护膜膜片,且张设于所述护膜框的相互相向的两边间。
6.根据权利要求3或4所述的护膜,其特征在于,
将粗细度最大为100μm的两条线状补强体接合于所述护膜膜片,且沿着所述护膜框的对角线张设。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的护膜,其特征在于,
所述护膜膜片的材质为非晶质氟系树脂。
8.一种曝光方法,其特征在于,
使用如权利要求1至7中任一项所述的护膜进行曝光。
9.一种平板显示器用屏的制造方法,包括下述工序:
使用如权利要求1至7中任一项所述的护膜进行曝光。
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