[发明专利]护膜、曝光方法及平板显示器用屏的制造方法在审

专利信息
申请号: 202210376691.X 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN115202148A 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 関原一敏 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: G03F1/48 分类号: G03F1/48
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 宋兴;臧建明
地址: 日本东京千代田区丸之内一*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 护膜 曝光 方法 平板 显示 器用 制造
【权利要求书】:

1.一种护膜,包括至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一个框状面的护膜膜片而构成,且所述护膜的特征在于,

对于护膜膜片,在与相互平行且为线对称的一对护膜框边平行的方向赋予有1%以上且2.5%以下的拉伸应变。

2.根据权利要求1所述的护膜,其特征在于,

对于护膜膜片,在与所述一对护膜框边垂直的方向赋予有0.5%以上且2%以下的拉伸应变。

3.根据权利要求1所述的护膜,其特征在于,

所述护膜框为矩形,所述一对护膜框边为所述矩形的长边。

4.根据权利要求3所述的护膜,其特征在于,

对于护膜膜片,在与所述矩形的长边垂直的方向赋予有0.5%以上且2%以下的拉伸应变。

5.根据权利要求3或4所述的护膜,其特征在于,

将粗细度最大为100μm的至少一条线状补强体接合于所述护膜膜片,且张设于所述护膜框的相互相向的两边间。

6.根据权利要求3或4所述的护膜,其特征在于,

将粗细度最大为100μm的两条线状补强体接合于所述护膜膜片,且沿着所述护膜框的对角线张设。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的护膜,其特征在于,

所述护膜膜片的材质为非晶质氟系树脂。

8.一种曝光方法,其特征在于,

使用如权利要求1至7中任一项所述的护膜进行曝光。

9.一种平板显示器用屏的制造方法,包括下述工序:

使用如权利要求1至7中任一项所述的护膜进行曝光。

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