[发明专利]一种碳化硅晶圆激光切割设备

权利要求书

1.一种碳化硅晶圆激光切割设备，其特征在于，所述碳化硅晶圆激光切割设备包括：

操作台，所述操作台上转动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹连接有第一螺纹块；

安装板，安装在所述第一螺纹块上，所述安装板上安装有激光自动切割组件，所述激光自动切割组件用于根据碳化硅晶圆的长度来自动进行激光切割；

第二螺纹杆，转动连接在所述操作台内部，所述第二螺纹杆上螺纹连接有第二螺纹块，所述第二螺纹块上安装有放置台，所述碳化硅晶圆置于所述放置台上，所述放置台与所述激光自动切割组件相互配合；

连接驱动组件，安装在所述操作台内部，用于在驱动第二螺纹杆旋转的过程中，根据第二螺纹杆的旋转方向来间歇式控制第一螺纹杆旋转；

其中，所述激光自动切割组件包括：

第一槽体，开设于所述安装板上，所述第一槽体内部安装有供电电机，所述供电电机的输出端连接有电线，所述电线一端安装有激光切割头；

第二槽体，开设于所述安装板上，所述第二槽体内部滑动连接有升降柱，所述升降柱一端安装有限位轮，所述限位轮与放置台相互配合；

双向弹性伸缩柱，安装在所述第一槽体内部，所述双向弹性伸缩柱两端均连接有接电板；

导电板，安装在所述电线上，所述导电板与所述接电板相互配合；

绝缘板，安装在所述升降柱上，所述绝缘板分别与所述接电板和导电板相互配合；

所述连接驱动组件包括：

往复驱动电机，安装在所述操作台内部，所述往复驱动电机的输出端与所述第二螺纹杆相连接，所述第二螺纹杆上安装有第一齿轮；

第二齿轮，转动连接在所述操作台内部，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合；

单向旋转组件，安装在所述第二齿轮一侧，所述单向旋转组件上连接有第一传输带；

支柱，安装在所述操作台一侧，所述支柱上转动连接有第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮相互啮合，所述第一传输带套设在所述第一锥齿轮上；

间歇旋转组件，安装在所述操作台一侧，所述间歇旋转组件与所述第一锥齿轮相连接，用于控制所述第一锥齿轮间歇式旋转；

所述间歇旋转组件包括：

旋转柱，转动连接在所述操作台一侧，所述旋转柱上开设有导向斜槽；

转动套柱，转动连接在所述旋转柱上，所述转动套柱上开设有定位导槽，所述转动套柱上通过扭曲弹簧转动连接有推杆，所述推杆一侧配合设置有挡板；

支架，可拆卸式安装在所述操作台一侧，所述支架上安装有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动块，所述滑动块上安装有导向柱，所述导向柱分别与所述导向斜槽和定位导槽相互配合；

转盘，安装在所述第一螺纹杆一端，所述转盘上安装有连动杆，所述连动杆与所述推杆相互配合。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆激光切割设备，其特征在于，所述升降柱、绝缘板、接电板和导电板的数量均为两个，且在所述激光切割头两侧对称安装。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆激光切割设备，其特征在于，所述单向旋转组件包括：

转动块，安装在所述第二齿轮一侧，所述转动块上开设有控制槽，所述控制槽内部设有控制柱，所述控制槽与控制柱之间设有弹簧；

转动盘，转动连接在所述第二齿轮一侧，所述转动盘上开设有转动槽，所述转动块位于所述转动槽内部；

卡块，安装在所述转动槽内部，且与所述控制柱相配合。

4.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆激光切割设备，其特征在于，所述连动杆的数量与碳化硅晶圆切割的间距相互配合。