[发明专利]基于空变球模型自适应单目偏折的工件面形重构方法在审
申请号: | 202210382794.7 | 申请日: | 2022-04-08 |
公开(公告)号: | CN114964035A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 吴珍;魏朝阳;牛振岐;王生水;李晓琳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G06T7/80;G06T7/11;G06F17/11 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 空变球 模型 自适应 单目偏折 工件 面形重构 方法 | ||
1.一种基于空变球模型自适应单目偏折的工件面形重构方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
①在待测工件表面任选一点作为标志点F,并利用测量工具测量该标志点F的高度h;
②搭建检测光路:设相机光心坐标(X0,Y0,Z0),通过单目偏折术对待测工件进行测量,获得待测工件表面的标志点F的屏幕坐标(XS,YS,ZS)和相机像素坐标(Xca,Yca,Zca);
③根据标志点F的相机像素坐标(Xca,Yca,Zca)和相机光心坐标(X0,Y0,Z0),计算标志点F的反射光线的单位方向向量(am,bm,cm),并获得标志点F的反射光线方程,公式如下:
④将标志点F的高度h代入反射光线方程,获得标志点F的工件坐标(Xm,Ym,Zm):
Zm=h
⑤计算标志点F反射光线的法向量和标志点F入射光线的法向量公式如下:
计算标志点F的法向量公式如下:
⑥球模型拟合:用球面拟合所述的待测工件,球心位于标志点F和法向量的直线上,通过对标志点F反向光线追迹,迭代获得最优球半径,具体如下:
a)任意给定球面半径R,结合标志点F的坐标和法向量(Nx,Ny,Nz)得到球心坐标(Xc,Yc,Zc);
b)由球心坐标(Xc,Yc,Zc)、球面半径R和每个测量点的相机像素坐标得到测量点坐标、法向量以及入射光线的方向向量;
c)根据每个测量点坐标和入射光线的方向向量进行反向追迹,并计算追迹的屏幕坐标,将该测量点的屏幕坐标和初始屏幕坐标进行比较,得到反向追迹误差;
d)判断反向追迹误差是否满足预设的可接受最小误差,如不满足,则返回步骤a);满足,则终止迭代过程,输出拟合得到最优球心半径和对应的初始面形;
⑦获取待测工件的全局最优空变球模型,并通过单目偏折术得到待测元件的重构面形,具体过程如下:
7.1)对待测工件的表面进行步骤⑥,优化球模型拟合,代入偏折术得到重构面形Gn;
7.2)设定循环参数t,令初始t=2;
7.3)将待测工件划分为t个区域,且各区域部分重合;
7.4)对区域1进行步骤⑥,优化球模型拟合,得到拟合初始面形g1;
7.5)将区域1和区域2的公共区域中任一点作为区域2的标志点F2,对区域2进行步骤⑥,拟合初始面形g2,以此类推,对待测工件的第t个区域进行如上操作得到gt,最终获得待测工件全局重构面形Gt,Gt=g1+g2+……gt;
F)判断全局重构面形Gt和Gn的误差是否满足预设的可接受最小值,如不满足,则令Gn=Gt,t=t+1,返回步骤7.3);如满足,则终止迭代过程,输出所有测量点坐标,得到最终重构面形。
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