[发明专利]一种硅片电阻率检测设备及方法

权利要求书

1.一种硅片电阻率检测设备，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)顶部外壁的两侧均固定连接有固定柱(3)，且两个固定柱(3)的顶部外壁固定连接有顶板(7)，所述顶板(7)顶部外壁的两侧均设置有定位机构，且两个定位机构之间设置有固定板(15)，所述固定板(15)的底部外壁设置有第二升降机构(8)，且第二升降机构(8)的底部外壁设置有上电极片，所述固定座(1)的顶部外壁设置有第一升降机构(2)，且第一升降机构(2)的顶部外壁设置有下电极片(27)，两个所述固定柱(3)的一侧外壁之间固定连接有支撑板(5)，且支撑板(5)的顶部外壁开设有通口，所述通口的内壁固定连接有固定架(4)，且固定架(4)的内壁固定连接有支撑架(10)，所述支撑板(5)位于第一升降机构(2)和第二升降机构(8)之间，所述支撑架(10)和顶板(7)之间设置有固定机构(9)，且固定机构(9)包括储水囊(16)、水垫(19)和夹板(20)，且储水囊(16)和水垫(19)之间设置有导管(17)，所述储水囊(16)和水垫(19)均为弹性材质，所述夹板(20)与支撑架(10)之间固定连接有第一弹簧(18)，所述储水囊(16)位于顶板(7)和固定板(15)之间，所述水垫(19)位于夹板(20)和支撑架(10)之间。

2.根据权利要求1所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述定位机构包括定位轨(14)和定位块，定位块与定位轨(14)之间形成滑动连接，定位轨(14)与顶板(7)之间通过螺栓连接，定位块与固定板(15)之间通过螺栓连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述第一升降机构(2)包括支撑座(24)、滑块(25)和固定块(28)，且支撑座(24)与固定座(1)之间通过螺栓连接，支撑座(24)的一侧外壁开设有固定槽(26)，固定槽(26)与滑块(25)之间形成滑动连接，滑块(25)的两侧外壁之间开设有螺纹孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆与固定槽(26)之间通过轴承形成转动连接，固定块(28)与滑块(25)之间通过螺栓连接，固定块(28)与下电极片(27)之间通过螺栓连接，支撑座(24)的底部外壁固定连接有第一电机(32)，第一电机(32)与螺纹杆之间通过螺栓连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述第二升降机构(8)包括双头螺杆(22)、连接块(23)和连接架(21)。且双头螺杆(22)与两个固定柱(3)之间通过轴承形成转动连接，两个连接块(23)的一侧外壁均开设有螺纹口，两个螺纹口与双头螺杆(22)之间螺纹连接，两个连接块(23)之间通过铰链连接有连接架(21)，连接架(21)包括连接杆和连接座，连接座与连接杆之间形成转动连接，其中一个连接座与固定板(15)之间通过螺栓连接，另一个连接座与上电极片之间通过螺栓连接，其中一个固定柱(3)的一侧外壁固定连接有第二电机(6)，第二电机(6)与双头螺杆(22)之间通过螺栓连接。

5.根据权利要求2所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述双头螺杆(22)两侧外壁的螺纹开设方向相反。

6.根据权利要求1所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述支撑板(5)顶部外壁的一侧开设有固定口，且固定口的内壁滑动连接有连接板(11)，连接板(11)一侧外壁的两端均固定连接有风机(29)，其中一个固定柱(3)的一侧外壁固定连接有支撑块(13)，支撑块(13)与连接板(11)之间固定连接有第二弹簧(30)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述固定口相对的两侧内壁均开设有定位槽，且两个定位槽的内壁均滑动连接有定位条(12)，两个定位条(12)分别固定在连接板(11)的两侧。

8.根据权利要求6所述的一种硅片电阻率检测设备，其特征在于，所述连接板(11)的一侧外壁靠近底部的位置通过铰链连接有摆动板(33)，且摆动板(33)与连接板(11)之间固定连接有第三弹簧(34)，摆动板(33)倾斜设置。