[发明专利]一种等离子体增强化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：包括反应室、可控加热模块、马弗、晶舟和气体输送管道，所述反应室的首尾端分别为反应室首端和反应室尾端，所述可控加热模块用于控制反应室内部的反应温度，所述马弗设置于所述反应室内，所述马弗的内侧为均匀热区，所述晶舟设置于所述均匀热区内，所述晶舟包括若干连接电极的石墨舟片，所述舟片上放置有晶圆衬底；所述气体输送管道用于向所述反应室内注入反应气体，所述反应室还通过抽气管道连接真空泵。

2.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述反应室为立式或卧式。

3.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述反应室内设置有若干所述可控加热模块，所述可控加热模块分布于所述反应室的内壁上，每个所述可控加热模块都有独立的热偶进行温度检测，并能够通过编程逻辑控制器自动进行功率控制。

4.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述马弗由耐高温耐化学腐蚀的金属材料制成，所述马弗的长度超过所述晶舟的总长度，所述马弗超出所述晶舟的长度至少为1.74倍的所述马弗的直径长。

5.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述气体输送管道包括主反应气体管道和反应气体输送管道，所述主反应气体管道到达所述反应室首端之前，分成多条所述反应气体输送管道，所述反应气体输送管道经所述反应室首端进入到所述反应室内，所述气体输送管道在所述可控加热模块与所述马弗之间的空隙延伸至所述反应室尾端，做180度折转后，进入所述马弗内侧的均匀热区，进而继续沿轴向延伸至所述反应室首端。

6.根据权利要求5所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述反应气体输送管道朝向所述晶舟的一侧轴向分布有若干出气孔。

7.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述晶舟由若干组轴向依次设置的舟片模块构成，每组所述舟片模块由三个舟片构成，三个所述舟片由尾端到首端依次为舟片一、舟片二和舟片三，各所述舟片模块的所述舟片一连接在同一电极一上，各所述舟片模块的所述舟片二连接在同一电极二上，各所述舟片模块的所述舟片三连接在同一电极三上。

8.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述晶舟设置于一晶舟挂架内，所述晶舟挂架的顶部连接所述反应室首端。

9.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述抽气管道设置于所述反应室尾端。