[发明专利]一种晶圆装卸挂具设备

权利要求书

1.一种晶圆装卸挂具设备，其特征在于，包括：

主支架，其包括多根支撑柱、位于顶部的横梁、位于中间位置的桌板和位于底部的底板；

后盖卸装单元，其设置在所述主支架的顶部横梁上，所述后盖卸装单元用于拆装挂具后盖的锁付件并将后盖移动；

挂具夹持单元，其设置在所述桌板上，所述挂具夹持单元用于放置和定位挂具；

晶圆顶出单元，其设置在底板上，所述晶圆顶出单元包括顶升架、第一升降驱动机构和旋转驱动机构，所述第一升降驱动机构用于带动所述顶升架作升降移动，所述旋转驱动机构用于带动所述顶升架转动；

密封圈吹扫机构，其包括吹扫喷头、通气管路和气流发生装置,所述吹扫喷头经通气管路连接到所述气流发生装置的出气口，所述吹扫喷头安装在所述顶升架上，所述密封圈吹扫机构用于在挂具上晶圆被顶出后，对挂具上密封圈产生吹扫气流；

视觉检测机构，其包括图像采集摄像头和图像分析主机，所述图像采集摄像头安装在所述顶升架上，所述视觉检测机构用于在挂具上晶圆被顶出后，采集挂具上密封圈图像并判定密封圈上是否有异物残留。

2.根据权利要求1所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，所述后盖卸装单元包括上支撑板、电批固定板、吸盘、导向机构、第二升降驱动机构和多个电批，多个所述电批成圆周分布安装在所述电批固定板上，所述吸盘安装于所述电批固定板下方，所述电批固定板经导向机构可升降地安装于所述上支撑板下方，所述第二升降驱动机构带动所述电批固定板沿导向机构作升降移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，包括多组所述后盖卸装单元，各组所述后盖卸装单元用于卸装不同尺寸晶圆的挂具，所述横梁上还设置有第一平移驱动机构，所述第一平移驱动机构带动多组所述后盖卸装单元沿横梁平移。

4.根据权利要求1所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，所述视觉检测机构包括多个图像采集摄像头，各个图像采集摄像头的朝向与水平线所成夹角不同。

5.根据权利要求1所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，所述桌板上设置有挂具装载工位和晶圆装载工位，所述挂具夹持单元包括第二平移驱动机构、滑板、转向机构、旋转板、限位块和托持块，所述限位块安装于旋转板的两侧，所述托持块安装于旋转板的一端，所述限位块与挂具的两侧相匹配，所述托持块与挂具的下端匹配，所述旋转板经转向机构安装于所述滑板上，所述第二平移驱动机构带动所述滑板在挂具装载工位和晶圆装载工位之间平移。

6.根据权利要求1所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，还包括位于3个成圆周阵列分布且处于同一水平的红外测距传感器。

7.根据权利要求1所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，所述挂具包括主板体和后盖，所述主板体上设有开口，在所述主板体上设有包围所述开口的第一密封圈，晶圆的待电镀面的边部与所述第一密封圈相贴靠，在所述后盖与主板体之间还设有第二密封圈；所述主板体内设有进气通道，所述进气通道的进气口位于挂具上部不接触电镀液的区域，所述进气通道的出气口连通至所述第一密封圈和第二密封圈所形成的封闭空间；所述挂具还包括由弹性材质制成的气嘴，所述气嘴安装在所述进气通道的进气口；所述气嘴内包括相连通的第一气道和第二气道，所述第一气道与主板体内进气通道同轴设置，所述第二气道与主板体表面垂直设置。

8.根据权利要求7所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，在所述挂具的主板体上设有包围所述开口的导电片单元，所述导电片单元包括至少4个弧形导电片，各个弧形导电片之间相隔离，每个弧形导电片上设置有多个触片，待电镀晶圆的圆周边部与各个触片导电接触；所述主板体的上部不接触电镀液的区域设置有数量与所述弧形导电片数量相一致的导电挂钩，每个所述弧形导电片经导线与一个导电挂钩电连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆装卸挂具设备，其特征在于，还包括压板、第三升降驱动机构、气密性检测设备和导电性检测仪，所述气密性检测设备的出气接头安装在所述压板上，所述导电性检测仪包括至少4条独立的导电检测回路，每条导电检测回路包括一个正极触头，每条导电检测回路的负极都电连接至所述晶圆顶出单元顶升架的顶板，所述正极触头都安装在所述压板上，所述第三升降驱动机构带动所述压板升降移动，使得所述出气接头压靠于挂具气嘴的第二气道口，同时使得每个所述正极触头分别压靠在挂具的一个导电挂钩上。