[发明专利]一种热分解薄膜制备装置

权利要求书

1.一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：包括升降台(1)和反应室(3)，所述升降台(1)上设喷雾模块(2)，所述反应室(3)内设加热模块(4)，衬底(6)置于该加热模块(4)上；

所述喷雾模块(2)包括设于所述升降台(1)上的安装底板(20)，该安装底板(20)上设缓冲腔(21)，所述缓冲腔(21)的进气口与至少一组雾化单元连通，所述缓冲腔(21)的出气口与伸缩管(22)连通，该伸缩管(22)通过连接管(51)与喷嘴(52)连接，所述伸缩管(22)、连接管(51)和喷嘴(52)伸入所述反应室(3)内，该喷嘴(52)位于所述衬底(6)上方位置，所述安装底板(20)朝向所述反应室(3)的一侧设有向外延伸的连接支架(53)，所述喷嘴(52)转动连接在所述连接支架(53)上；

所述安装底板(20)上设凝聚液收集蠕动泵(29)，该凝聚液收集蠕动泵(29)的进液端通过凝聚液收集管(54)从所述喷嘴(52)的侧面与该喷嘴(52)连通，所述凝聚液收集蠕动泵(29)的出液端与前驱体溶液储罐(27)连通。

2.根据权利要求1所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述缓冲腔(21)上方设电机平台(56)，伸缩管驱动步进电机(55)固定在该电机平台(56)上，且所述伸缩管驱动步进电机(55)的活动端与所述伸缩管(22)的可伸缩端连接。

3.根据权利要求1所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述雾化单元包括安装在所述安装底板(20)上的雾化罐(25)、前驱体溶液储罐(27)、第一差速蠕动泵(24)和第二差速蠕动泵(26)，所述雾化罐(25)通过前驱体输运管(23)与所述缓冲腔(21)连通，所述第一差速蠕动泵(24)的进口端与所述前驱体溶液储罐(27)连通，其出口端与所述雾化罐(25)连通，所述第二差速蠕动泵(26)的进口端与所述雾化罐(25)连通，其出口端与所述前驱体溶液储罐(27)连通。

4.根据权利要求3所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述安装底板(20)上设散热风扇(28)，用于给雾化源电路板进行散热。

5.根据权利要求3所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述反应室(3)朝向所述喷雾模块的一侧设第一矩形槽(31)和第二矩形槽(32)，所述伸缩管(22)穿设在该第一矩形槽(31)上，且能够随所述升降台(1)的升降沿所述第一矩形槽(31)在竖直方向活动；所述连接支架(53)和凝聚液收集管(54)穿设在所述第二矩形槽(32)上，且能够随所述升降台(1)的升降沿所述第二矩形槽(32)在竖直方向活动。

6.根据权利要求1所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述加热模块(4)包括设于所述反应室(3)内的加热板(41)，该加热板(41)由均匀分布在其下方的碘钨灯(42)进行加热，所述加热板(41)上活动设有可调节衬底放置架，所述衬底(6)置于该可调节衬底放置架上，所述衬底(6)和所述可调节衬底放置架在衬底驱动电机(46)的作用下能够往复移动。

7.根据权利要求6所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述可调节衬底放置架包括两个横杆(43)和一个纵杆(44)，所述横杆(43)上沿其长度方向设有通槽，所述纵杆(44)能够沿两个横杆(43)上的通槽移动，在所述横杆(43)和纵杆(44)上分别等间距开设有固定孔，纵杆(44)在横杆(43)上的位置调整好后，所述纵杆(44)和横杆(43)上重叠处的固定孔内穿设固定螺丝以将所述横杆(43)和纵杆(44)进行固定，所述衬底驱动电机(46)的活动端连接支架(45)，该支架(45)与两个所述横杆(43)活动配合，所述衬底(6)位于所述支架(45)与横杆(43)、纵杆(44)围成的区域内。

8.根据权利要求1所述的一种热分解薄膜制备装置，其特征在于：所述反应室(3)的出气口处设管道风机(34)。