[发明专利]制绒装置及制绒方法在审
| 申请号： | 202210392875.5 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114927443A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 高永强;苏世杰;余义;周守亮 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/20;C30B33/10 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周孝湖 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
1.一种制绒装置，其特征在于，包括：
制绒槽；及
花篮，设于所述制绒槽内，所述花篮包括花篮杆和多个花篮齿，多个所述花篮齿间隔设置在所述花篮杆上，相邻两个所述花篮齿之间形成置放空间，所述花篮齿的纵截面中部的宽度大于两端的宽度，所述纵截面与多个所述花篮齿在所述花篮杆上的排列方向上平行。
2.根据权利要求1所述的制绒装置，其特征在于，所述花篮齿的中部具有接触部，所述接触部的表面经过粗糙化处理。
3.根据权利要求1所述的制绒装置，其特征在于，所述花篮齿为聚偏氟乙烯塑料材质。
4.根据权利要求1所述的制绒装置，其特征在于，所述花篮杆上相邻两个的所述花篮齿之间的齿距为3.5mm～5.5mm。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的制绒装置，其特征在于，所述制绒槽的底板上开设有多个出液孔。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的制绒装置，其特征在于，所述制绒槽的顶部沿所述制绒槽的四周间隔设置有多个溢流口。
7.根据权利要求6所述的制绒装置，其特征在于，所述溢流口为从所述制绒槽的上沿向下延伸的倒三角形缺口。
8.一种制绒方法，其特征在于，采用如权利要求1至7中任一项所述的制绒装置对硅片进行制绒，所述制绒方法包括：
在所述制绒槽内盛装制绒药液且放置所述花篮，所述花篮的所述置放空间内放置所述硅片，并使所述制绒药液完全淹没所述硅片。
9.根据权利要求8所述的制绒方法，其特征在于，所述制绒药液的初始组成配比为：氢氧化钠、制绒添加剂和水的质量比是(3～4.5)：1：(160～175)。
10.根据权利要求8所述的制绒方法，其特征在于，制绒过程中每隔480s～660s排出所述制绒槽内的所述制绒药液5000mL～7000mL，同时补加水5000mL～6000mL、补加质量分数为45％～46％的氢氧化钠溶液1500mL～1800mL、补加制绒添加剂140mL～200mL。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的制绒方法，其特征在于，制绒过程中使所述制绒槽内的所述制绒药液循环流动，所述制绒药液的循环流量为23L/min～30L/min。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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