[发明专利]一种多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置

权利要求书

1.一种多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，包括：

具分离腔的分离壳，所述分离壳内设将所述分离腔分隔为内腔与外腔的瓮城组件，所述瓮城组件用于引导所述外腔内部的废气废液流入所述内腔中，所述分离壳顶部形成连通所述内腔的排气管路，以供所述内腔内部的废气流通，所述排气管路内嵌至少一个喷头，所述喷头喷洒用于并合所述排气管路内部流通的废气中呈雾化状的废液微粒的反应液体。

2.根据权利要求1所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述排气管路被构造出连通所述内腔的气流通道，以供所述内腔内部的废气流通，所述排气管路设置位于所述气流通道内部的喷头，所述喷头喷洒用于并合所述气流通道内流通的废气中呈雾化状的废液微粒的反应液体。

3.根据权利要求1所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述瓮城组件包括：第一围板，与所述第一围板对向设置的弧形围板，所述弧形围板面向所述第一围板延伸形成连接第一围板的第二围板与第三围板，导气管所述第一围板、所述第二围板与所述第三围板底部均被构造出供液体流通的导液通孔，以引导所述外腔内部的废液流入所述内腔中，所述弧形围板底部被构造出排液通孔。

4.根据权利要求1所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述分离壳径向向外延伸形成用于抽取所述外腔内废气与废液的气液混合管路，所述气液混合管被构造出供废气废液流通的第一通道，连通所述第一通道的气液抽取组件，所述第一通道的位置高度高于第二通道位置高度；

所述气液抽取组件包括：沿所述气液混合管路的侧壁密集排布并与所述第一通道连通的若干抽气管与抽液管。

5.根据权利要求2所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，还包括：供液组件；

所述供液组件包括：供液管，连接所述供液管自由端的分液器，纵向设置于所述内腔内部的插管，所述分液器设置连通所述喷头的第一导管，所述第一导管用于向所述喷头输送反应液体，所述分液器设置连通所述插管的第二导管，所述第二导管用于向所述插管输送反应液体。

6.根据权利要求3所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，还包括：同轴设置于所述分离壳内部的圆筒，所述分离壳与所述圆筒之间区域形成分离腔；

所述分离腔被所述第一围板、第二围板与第三围板及弧形围板分隔形成内腔与外腔。

7.根据权利要求3所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述分离壳沿竖直方向内嵌对称设置于所述弧形围板两侧的隔板，所述隔板的高度尺寸与分离壳的高度尺寸一致；

所述隔板与所述弧形围板将外腔部分区域隔离形成隔气腔，以隔绝所述外腔内部的废气，所述隔气腔连通所述排液通孔，以通过排液通孔引导内腔内部的废液流入隔气腔中。

8.根据权利要求3所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述瓮城组件还包括：沿所述分离壳的垂轴呈镜像对称布置的两组导气管，所述导气管分别连接第二围板与第三围板，所述导气管被构造出供废气流通的导气通道，以引导所述外腔内部的废气流入所述内腔中，以通过两组导气管均匀地对废气进行导流。

9.根据权利要求6所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述分离壳沿环形排布若干连通所述外腔的排废管路，以通过所述排废管路向所述外腔内注入废气与废液。

10.根据权利要求7所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，所述分离壳靠近所述隔板的一侧设置连通所述隔气腔的排液管，所述排液管的第二通道最低进液液位高度高于所述排液通孔与导液通孔的最高高度。

11.根据权利要求9所述的多工位单片式晶圆清洗机用气液分离装置，其特征在于，还包括：纵向设置并延伸至外腔内部的若干静电销。