[发明专利]石墨烯电镜载网的制备方法在审
申请号: | 202210399570.7 | 申请日: | 2022-04-15 |
公开(公告)号: | CN114743851A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 王宏伟;郭春龙;刘楠;陆叶;倪晓丹 | 申请(专利权)人: | 水木未来(北京)科技有限公司;清华大学 |
主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/20;C01B32/194;C01B32/182 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 100089 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 烯电镜载网 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯电镜载网的制备方法,其特征在于,包括:
铺烃类混合物的步骤:在金属基底上形成的石墨烯膜的表面至少部分地铺上烃类混合物;
石墨烯膜转移到电镜载网的步骤:去除金属基底,将铺有烃类混合物的石墨烯膜转移到电镜载网上,获得烃类混合物-石墨烯膜-电镜载网结构;
去除烃类混合物的步骤:采用有机溶剂清洗烃类混合物-石墨烯膜-电镜载网结构,以去除烃类混合物。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述铺烃类混合物的步骤中,所述金属基底选自铜或铂基底;所述石墨烯膜表面的70%以上铺有所述烃类混合物。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,石墨烯膜转移到电镜载网的步骤中,通过刻蚀液以去除所述金属基底。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的制备方法,其特征在于,在所述去除烃类混合物的步骤中,所述有机溶剂为溶解所述烃类混合物的有机溶剂;在高于烃类混合物的熔点5℃~20℃的温度范围内,采用有机溶剂清洗烃类混合物-石墨烯膜-电镜载网结构。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述去除烃类混合物的步骤后,还包括采用清洗剂和水润洗的步骤;
优选地,所述的清洗剂包括醇类、酮类、醚类或酯类清洗剂的一种或多种。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述烃类混合物为碳原子数为15~40的烃类混合物,其根据DSC测试的熔点在70℃以下,密度小于水的密度。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的制备方法,其特征在于,在所述铺烃类混合物的步骤中,通过化学气相沉积法,在金属基底上生长石墨烯膜;
优选地,所述石墨烯膜为单层石墨烯。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的制备方法,其特征在于,在所述铺烃类混合物的步骤中,在石墨烯膜的表面的烃类混合物的厚度为0.1~0.5mm。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的制备方法,其特征在于,在所述石墨烯膜转移到电镜载网的步骤中,采用腐蚀液刻蚀铜基底。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述电镜载网的材质选自铜、镍、钼、钛或金;所述电镜载网上设置有孔阵列。
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